特許
J-GLOBAL ID：200903061969745067
プラズマ発生用アンテナ装置及びプラズマ処理装置
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
小川 信一
, 野口 賢照
, 斎下 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-147712
公開番号（公開出願番号）：特開2004-349199
出願日： 2003年05月26日
公開日（公表日）： 2004年12月09日
要約：
【課題】プラズマ生成に用いられる電波の1/4波長程度、あるいは波長程度のサイズの金属容器中にて、柱状アンテナを共振させてプラズマを効率よく発生できるプラズマ発生用アンテナ装置及びプラズマ処理装置を提供する。【解決手段】表面を誘電体21bで覆った柱状の導電体21aからなる複数のアンテナ素子21を交互に給電方向を逆にして平行に配置した面状のアンテナ20を備えたプラズマ発生用アンテナ装置において、通気性を有する導電体で形成された面状のグランド22を、前記アンテナ20と平行に配設する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
表面を誘電体で覆った柱状の導電体からなる複数のアンテナ素子を、交互に給電方向を逆にして平行に配置した面状のアンテナを備えたプラズマ発生用アンテナ装置において、通気性を有する導電体で形成された面状のグランドを、前記アンテナと平行に配設したことを特徴とするプラズマ発生用アンテナ装置。
IPC (3件)：
H05H1/46
, H01L21/205
, H01L21/3065
H05H1/46 L
, H05H1/46 B
, H01L21/205
, H01L21/302 101D
4K030FA03
, 4K030JA03
, 4K030JA08
, 4K030JA18
, 4K030KA14
, 4K030KA16
, 4K030KA47
, 5F004AA01
, 5F004AA16
, 5F004BA20
, 5F004BB18
, 5F004BB32
, 5F004BC08
, 5F004BD04
, 5F004CA06
, 5F045AA08
, 5F045AB02
, 5F045AC01
, 5F045BB02
, 5F045DP03
, 5F045DQ10
, 5F045EF05
, 5F045EH02
, 5F045EH05
, 5F045EH20
, 5F045EJ05
