特許
J-GLOBAL ID：200903062189373652
SAWフィルターの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萼 経夫 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-328513
公開番号（公開出願番号）：特開2001-148617
出願日： 1999年11月18日
公開日（公表日）： 2001年05月29日
要約：
【要約】【課題】 ウェハー全体のSAWフィルターの中心周波数を精度よく微調整でき、かつ、ウェハーを再利用するという手間をかけず、不合格品をできるだけ無くして製造上の歩留まりを向上できるSAWフィルターの製造方法を提供する。【解決手段】 複数のSAWフィルターを個々に分割するように基板(ウェハー)を切断し、各SAWフィルター毎に中心周波数確認を行い、周波数ずれに応じてグループ分けし、各グループ毎にイオン交換法により中心周波数の調整を行う。SAWフィルターの中心周波数の微調整をほぼ個別に行うことが可能であり、微調整の精度向上が図れ、その分、ロスが少なくなる。また、ウェハー全体を広範囲に有効利用できることになり、この分、有効面積が広がることになる。また、グループ毎に中心周波数の微調整を行うので、微調整の迅速化及び精度向上が図れる。
請求項（抜粋）：
基板上に金属膜を形成し、該金属膜をエッチングすることにより複数のSAWフィルターの電極パターンを形成し、前記複数のSAWフィルターを個々に分割するように前記基板を切断し、その後、前記各SAWフィルター毎にその電極パターンに基づく中心周波数確認を行い、当該中心周波数確認により周波数ずれがあったSAWフィルターに関して周波数ずれに応じてグループ分けし、各グループ毎に中心周波数の調整を行うことを特徴とするSAWフィルターの製造方法。
Fターム (9件)：
5J097AA31
, 5J097AA32
, 5J097HA02
, 5J097HA07
, 5J097HA08
, 5J097HA09
, 5J097HB03
, 5J097KK01
, 5J097KK09
