特許
J-GLOBAL ID：200903062197912112

ラミネート装置、ICシート、巻物及びICチップの作製方法

発明者：
渡邊 了介

渡邊 了介 について

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高橋 秀和

高橋 秀和 について

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鶴目 卓也

鶴目 卓也 について


出願人/特許権者：
株式会社半導体エネルギー研究所

株式会社半導体エネルギー研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-162434
公開番号（公開出願番号）：特開2006-019717
出願日： 2005年06月02日
公開日（公表日）： 2006年01月19日
要約：
【課題】 薄膜集積回路の封止の際の製造効率の向上を課題とする。【解決手段】 第1の基板が巻き付けられた第1のローラーと、第2の基板が巻き付けられた第2のローラーと、第3のローラーと、第4のローラーと、第5のローラーを有する。第1のローラーを回転させて、第1の基板を第3のローラーに供給する。また、第2のローラーを回転させて、第2の基板を第5のローラーに供給する。また、第3のローラーを回転させて、第3の基板上の少なくとも1つの薄膜集積回路の一方の面を第1の基板に接着させる。また、第4のローラーと第5のローラーを回転させて、薄膜集積回路の他方の面を第2の基板に接着させ、かつ、第4のローラーと第5のローラーの間を薄膜集積回路が通過する際に、第1の基板、第2の基板及び薄膜集積回路に加圧処理と加熱処理の一方又は両方を行って、第1の基板と第2の基板により薄膜集積回路を封止する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
第1の基板が巻き付けられた第1のローラーと、 第2の基板が巻き付けられた第2のローラーと、 第3のローラーと、 第4のローラーと、 第5のローラーを有し、 前記第4のローラーと前記第5のローラーは、対向するように配置され、 前記第1のローラーを回転させて、前記第1の基板を前記第3のローラーに供給し、 前記第2のローラーを回転させて、前記第2の基板を前記第5のローラーに供給し、 前記第3のローラーを回転させて、第3の基板上の少なくとも1つの薄膜集積回路の一方の面を前記第1の基板に接着させ、 前記第4のローラーと前記第5のローラーを回転させて、前記薄膜集積回路の他方の面を前記第2の基板に接着させ、かつ、前記第4のローラーと前記第5のローラーの間を前記薄膜集積回路が通過する際に、前記第1の基板、前記第2の基板及び前記薄膜集積回路に加圧処理と加熱処理の一方又は両方を行って、前記第1の基板と前記第2の基板により前記薄膜集積回路を封止することを特徴とするラミネート装置。
IPC (3件)：
H01L 21/56 ,  H01L 27/12 ,  H01L 21/02
FI (2件)：
H01L21/56 R ,  H01L27/12 B
Fターム (10件)：
5B035AA04 ,  5B035BA05 ,  5B035BB09 ,  5B035CA01 ,  5B035CA23 ,  5F061AA01 ,  5F061BA03 ,  5F061CA11 ,  5F061CB13 ,  5F061FA03
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (2件)

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