特許
J-GLOBAL ID：200903062278558968

狭帯域化レーザ装置

発明者：
永井 伸治

永井 伸治 について

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若林 理

若林 理 について

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柿崎 弘司

柿崎 弘司 について

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藪 隆之

藪 隆之 について

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熊崎 貴仁

熊崎 貴仁 について


出願人/特許権者：
株式会社小松製作所

株式会社小松製作所 について

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ウシオ電機株式会社

ウシオ電機株式会社 について


代理人 (2件)： 木村 高久 ,  小幡 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-203549
公開番号（公開出願番号）：特開2006-024855
出願日： 2004年07月09日
公開日（公表日）： 2006年01月26日
要約：
【課題】 中心波長の制御に影響を与えることなくスペクトル純度幅(スペクトル指標値)の安定化制御を行えるようにして、見かけ上のスペクトル純度幅の制御を行うことで発生する上記諸問題点を解消する。【解決手段】 増幅用レーザ装置300から出力されるレーザ光のスペクトル純度幅E95をスペクトル純度幅計測手段で計測し、計測されたスペクトル純度幅E95が、目標スペクトル純度幅E950の許容幅E950±dE95内に収まるように、発振用レーザ装置100で放電を開始してから増幅用レーザ装置300で放電を開始するまでの放電タイミングを制御することで、スペクトル純度幅E95を安定化制御する。 【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
レーザ光を波長分散素子に数回通過させることによって、狭帯域化したシード光を出力する発振用レーザ装置と、増幅用チャンバ内でレーザガスを放電することによりシード光を増幅して、増幅したレーザ光を出力する増幅用レーザ装置または増幅装置とを備えた狭帯域化レーザ装置において、 前記増幅用レーザ装置から出力されるレーザ光のスペクトル指標値を計測するスペクトル指標値計測手段と、 計測されたスペクトル指標値が、目標スペクトル指標値の許容幅内に収まるように、前記発振用レーザ装置で放電を開始してから前記増幅用レーザ装置または増幅装置で放電を開始するまでの放電タイミングを制御する制御手段と を具えたことを特徴とする狭帯域化レーザ装置。
IPC (2件)：
H01S 3/134 ,  H01S 3/137
FI (2件)：
H01S3/134 ,  H01S3/137
Fターム (25件)：
5F071AA06 ,  5F071EE04 ,  5F071GG03 ,  5F071GG07 ,  5F071HH02 ,  5F071HH05 ,  5F071HH07 ,  5F071JJ05 ,  5F172AD06 ,  5F172DD03 ,  5F172EE22 ,  5F172NN09 ,  5F172NN24 ,  5F172NP03 ,  5F172NP04 ,  5F172NP12 ,  5F172NP18 ,  5F172NQ44 ,  5F172NR28 ,  5F172NS01 ,  5F172NS13 ,  5F172XX01 ,  5F172ZA02 ,  5F172ZA03 ,  5F172ZA04
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (5件)
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