結晶性組成物、デバイスと関連方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊藤信和
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-547331
公開番号（公開出願番号）：特表2009-520678
出願日： 2006年12月15日
公開日（公表日）： 2009年05月28日
要約：

複数の粒子を有する多結晶金属窒化物を含む組成物が提供される。これらの粒子は、拝金粒子サイズ、傾斜角度、不純物含有、気孔率、密度、及び金属窒化物における金属の分子分率、のような特徴の一つかそれ以上の柱状構造を有する。金属窒化物は、窒素含有材料が第III族金属とチャンバー内で反応し、金属窒化物を生成して、少なくともチャンバー内の第III族金属の導入、窒素含有材料とハロゲン化水素のチャンバーへの流入の工程からなる方法を介して生成される。第III族金属が原材料材料として原材料注入口を通じてチャンバーに導入されて、第III族金属窒化物グループの準備の方法が提供される。

請求項（抜粋）：

組成物であって、柱状構造を有する複数の粒子を含む多結晶金属窒化物と、以下の1つ又は2以上を備えていることを特徴とする組成物。 10nmから1mmの範囲内の平均粒子サイズを有する粒子、不純物含量が200ppm未満の金属窒化物、体積分率における気孔率が0.1%から30%の範囲内である金属窒化物、金属窒化物と対応している理論密度値の70%から99.8%の範囲内の見掛け密度を有する金属窒化物、又は、 0.49から0.55の範囲内である金属窒化物内の金属の分子分率。

IPC (3件)：

C30B 29/38 , C30B 33/00 , C30B 25/08

FI (3件)：

C30B29/38 D , C30B33/00 , C30B25/08

Fターム (37件)：

4G077AA01 , 4G077AA02 , 4G077AA07 , 4G077AB01 , 4G077AB03 , 4G077AB09 , 4G077AB10 , 4G077BE11 , 4G077BE13 , 4G077BE15 , 4G077DB05 , 4G077EB06 , 4G077EC09 , 4G077EG02 , 4G077EG15 , 4G077EG21 , 4G077EG25 , 4G077FG01 , 4G077FG05 , 4G077FG11 , 4G077FJ01 , 4G077HA01 , 4G077HA02 , 4G077HA03 , 4G077HA06 , 4G077HA11 , 4G077HA12 , 4G077TA01 , 4G077TA04 , 4G077TA06 , 4G077TA11 , 4G077TB03 , 4G077TC02 , 4G077TD01 , 4G077TD02 , 4G077TE05 , 4G077TH01

引用特許：

出願人引用 (2件)

国際公開WO98/19964号公報
米国特許公開2005-142391号公報

審査官引用 (1件)

クラックフリーIII族窒化物半導体材料の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-036894 出願人：テクノロジーズアンドデバイシーズインターナショナル,インコーポレイテッド

引用文献：

審査官引用 (3件)

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