特許
J-GLOBAL ID:200903062358911286

半導体チップ、半導体装置及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 横山 淳一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-097446
公開番号(公開出願番号):特開2004-304081
出願日: 2003年03月31日
公開日(公表日): 2004年10月28日
要約:
【課題】薄い半導体チップの端面と封止樹脂との接着強度を強化して、チップ角の欠け及び剥離を防止する。【解決手段】端面が樹脂封止される半導体チップ1の端面1a、1bに、チップ1の上下面に垂直な溝及び垂直な突起からなる凹凸パターンを形成する。この端面1a、1bには、樹脂6との密着性が良好なチップ材料の半導体が表出している。凹凸パターンにより、樹脂との接着面積が増加しかつアンカー効果を生ずるので、高い接着強度が得られる。【選択図】 図7
請求項(抜粋):
端面が樹脂封止される半導体チップにおいて、 該チップを構成する半導体が表出する該端面に、該チップの上下面に垂直な溝及び垂直な突起からなる凹凸パターンが形成されていることを特徴とする半導体チップ。
IPC (2件):
H01L21/301 ,  H01L21/56
FI (2件):
H01L21/78 L ,  H01L21/56 R
Fターム (4件):
5F061AA01 ,  5F061BA07 ,  5F061CA04 ,  5F061CB13
引用特許:
出願人引用 (7件)
全件表示
審査官引用 (6件)
全件表示

前のページに戻る