特許
J-GLOBAL ID：200903062452309905
熱処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-008839
公開番号（公開出願番号）：特開2007-194269
出願日： 2006年01月17日
公開日（公表日）： 2007年08月02日
要約：
【課題】熱処理により発生する昇華物等の不純物による目詰まりに対するメンテナンス作業を容易に行えるようにした熱処理装置を提供すること。【解決手段】処理室53内で被処理基板であるウエハWを熱処理する熱処理装置において、ウエハを載置して熱処理する加熱プレート55と、この加熱プレートを上方から覆い、処理室の一部を構成する蓋体52とを具備する。蓋体は、天板52aと、この天板の周端部に垂設される周側部52bとを具備し、天板には、処理室内に気体を供給する供給口62が設けられ、天板の側部には、処理室内の気体を排気する複数の排気口63が設けられ、かつ、各排気口に連通すると共に、各排気口と略等距離の部位に排出口65を有する排気管64を、蓋体に対して着脱可能に装着する。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
処理室内で被処理基板を熱処理する熱処理装置であって、
上記被処理基板を載置して熱処理する熱処理板と、この熱処理板を上方から覆い、上記処理室の一部を構成する蓋体と、を具備し、
上記蓋体は、上面部と、この上面部の周端部に垂設される周側部とを具備し、上面部には、処理室内に気体を供給する供給口が設けられ、上面部の側部には、上記処理室内の気体を排気する複数の排気口が設けられ、かつ、上記各排気口に連通すると共に、各排気口と略等距離の部位に排出口を有する排気管を、蓋体に対して着脱可能に装着してなる、
ことを特徴とする熱処理装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
出願人引用 (1件)
審査官引用 (5件)
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