特許
J-GLOBAL ID：200903062516134187
磁気記録媒体の製造方法及び製造装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
松山 圭佑
, 高矢 諭
, 牧野 剛博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-289191
公開番号（公開出願番号）：特開2005-056535
出願日： 2003年08月07日
公開日（公表日）： 2005年03月03日
要約：
【課題】 媒体の反りや分割記録要素の磁気的な劣化、加工形状のずれを抑制し、良好な磁気特性を有する磁気記録媒体を効率良く製造することができる磁気記録媒体の製造方法等及び製造装置を提供する。【解決手段】 被加工体10の両面を同時に加工する。又、連続記録層20のドライエッチング手法としてイオンビームエッチングを用いる。レジスト層26を連続記録層20のドライエッチングの前に除去する。【選択図】 図10
請求項（抜粋）：
基板両面に連続記録層が形成された被加工体を加工し、多数の分割記録要素で構成された分割記録層を前記基板両面に形成する磁気記録媒体の製造方法であって、
前記被加工体の両面を同時に加工する加工工程を含むことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (8件)：
5D112AA05
, 5D112AA16
, 5D112AA20
, 5D112AA24
, 5D112GA03
, 5D112GA04
, 5D112GA20
, 5D112HH08
出願人引用 (2件)
審査官引用 (19件)
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