特許

J-GLOBAL ID：200903062872682270

気体励起用の電極

発明者： 水野 彰 ,  稲葉 一弘 ,  飯田 暁光 ,  瑶樹 伸彦
出願人/特許権者： 日鉄鉱業株式会社
代理人 (1件)： 森田 憲一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-037293
公開番号（公開出願番号）：特開2004-247223
出願日： 2003年02月14日
公開日（公表日）： 2004年09月02日
要約：

【課題】寿命を延長させ、コスト低減が可能な気体励起用電極を提供する。【解決手段】気体励起用電極40は、円柱状芯電極41と、その円柱状芯電極41を取り囲む円筒状絶縁体鞘体42とを含み、前記電極40の横断面の円の面積に対して、前記円筒状絶縁体鞘体42の断面積が70%以上である。符号43は空隙部であり、空気を充填する。【選択図】 図7

請求項（抜粋）：

円柱状芯電極と、その円柱状芯電極を取り囲む円筒状絶縁体鞘体とを含む、気体励起用の電極であって、前記電極の横断面の円の面積に対して、前記円筒状絶縁体鞘体の断面積が70%以上であることを特徴とする、前記の電極。

IPC (2件)：

H05H1/24 ,  B01J19/08

FI (2件)：

H05H1/24 ,  B01J19/08 E

Fターム (15件)：

4G075AA03 ,  4G075AA37 ,  4G075AA51 ,  4G075BA05 ,  4G075BA06 ,  4G075CA47 ,  4G075CA54 ,  4G075DA02 ,  4G075DA18 ,  4G075EB01 ,  4G075EC21 ,  4G075EE04 ,  4G075FA12 ,  4G075FB06 ,  4G075FC15

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 大気圧グロ-放電用電極及び該電極を使用したプラズマ処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-009945   出願人：イーシー化学株式会社, 岡崎幸子, 小駒益弘
• プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-281709   出願人：松下電工株式会社
• プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-155549   出願人：松下電工株式会社
• 気体の励起装置及び励起方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-333978   出願人：日鉄鉱業株式会社