エネルギ分散型X線検出装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西岡義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-214996
公開番号（公開出願番号）：特開2001-043822
出願日： 1999年07月29日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
要約：

【要約】【課題】入射X線量を制限するコリメータの駆動源より発生する電気的ノイズの影響を除去することができるエネルギ分散型X線検出装置を提供する。【解決手段】コリメータ1を回転させるシャフト2にレバー金具3を締着させ、レバー金具3に位置決めネジ4a〜4cを螺着させ、かつ、位置決めネジ4a〜4cに相対する位置に空気圧シリンダ7a、7bおよび固定当て金具9を配設する。そして、空気圧シリンダ7a、7bのON/OFFにより位置決めネジ4a〜4cと空気圧シリンダ7a、7bまたは固定当て金具9が当接し、コリメータ1を所定回転角位置に設定させることができる。このように、駆動源として空気圧シリンダ7を用いることにより電気的ノイズの発生は全く起こらない。

請求項（抜粋）：

試料から発生する特性X線やγ線を検出するX線検出器と、この検出器のX線入射窓の前面にX線入射量を制限するコリメータを備えたエネルギ分散型X線検出装置において、コリメータの駆動源として空気圧を用いたことを特徴とするエネルギ分散型X線検出装置。

IPC (4件)：

H01J 37/244 , G01N 23/225 , G21K 1/06 , H01J 37/252

FI (4件)：

H01J 37/244 , G01N 23/225 , G21K 1/06 F , H01J 37/252 Z

Fターム (6件)：

2G001DA01 , 2G001EA03 , 2G001SA02 , 2G001SA30 , 5C033NN04 , 5C033RR04

引用特許：

審査官引用 (8件)

走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-055421 出願人：株式会社日立製作所, 日立計測エンジニアリング株式会社
電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-027878 出願人：株式会社日立製作所
特開平1-203905

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