特許
J-GLOBAL ID：200903062910835638
除振装置及び露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-252386
公開番号（公開出願番号）：特開平9-134876
出願日： 1996年09月03日
公開日（公表日）： 1997年05月20日
要約：
【要約】【課題】 ステージ移動に伴う本体重心位置移動の影響を受けることなく、外乱振動の抑制(制振)効果を向上させる。【解決手段】 ステージが移動すると、干渉計(30X、30Y、30R)によりステージの移動位置が計測され、この干渉計の出力がK倍された指令値(ステージの移動時の重心位置の移動により生じる除振台の傾き量を補正するような指令値)制御装置11の振動制御系にフィードフォワード入力する。振動制御系では変位センサ10、振動センサ5の出力、及びフィードフォワード入力された指令値に基づいて除振台の振動を抑制するようにアクチュエータ7A〜7D、32A〜32Cを駆動制御する。これにより、除振台の振動と共にステージの移動時の重心位置の移動により生じる除振台の傾き量が補正される。
請求項（抜粋）：
少なくとも3個の除振パッドを介して水平に保持された除振台と;前記除振台上で移動する少なくとも一つのステージと;前記除振台を異なる箇所で鉛直方向に駆動する少なくとも3つのアクチュエータを含む複数のアクチュエータと;前記除振台の変位を検出する1又は2以上の変位センサと;前記除振台の振動を検出する1又は2以上の振動センサと;前記変位センサ及び振動センサの出力に基づいて前記除振台の振動を抑制するように前記各アクチュエータを駆動制御する振動制御系と;前記各ステージの移動位置を計測する位置計測手段と;前記ステージの移動時の重心位置の移動により生じる前記除振台の傾き量を前記位置計測手段の出力に基づいて予測し、この傾き量を補正するような指令値を前記振動制御系にフィードフォワード入力する振動補償系とを有する除振装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, F16F 15/02
, F16F 15/03
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 503 F
, F16F 15/02 A
, F16F 15/03 A
, G03F 7/20 521
