除振装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡邉勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-177580
公開番号（公開出願番号）：特開平10-082448
出願日： 1997年06月18日
公開日（公表日）： 1998年03月31日
要約：

【要約】【課題】比較的小さな電磁アクチュエータの容量で、除振テーブルの搭載物の重心位置が大きく移動しても、除振テーブルを水平に保つことができる空気ばね・電磁アクチュエータ併用型の除振装置を提供する。【解決手段】搭載物を載せる除振テーブル10を空気ばね11A,11B,11C,11Dと電磁アクチュエータ12A,12B,12Cとを併用して懸架する除振装置において、前記電磁アクチュエータにより前記変位センサの位置信号に基づく補償回路22の出力信号に基づいて位置決め制御を行うと共に、前記加速度センサの信号を積分した速度信号に基づいて除振制御を行い、前記空気ばねは前記テーブルの四隅を空気圧力で支持する圧力制御手段16,25,33を備え、該それぞれの空気ばねの圧力を前記搭載物の除振テーブル上での移動に伴い生じる変動負荷に基づいて制御する。

請求項（抜粋）：

搭載物を載せる除振テーブルを空気ばねと電磁アクチュエータとを併用して懸架する除振装置において、前記除振テーブルの鉛直方向位置を検出して変位信号を出力する少なくとも3個の変位センサと、鉛直方向加速度を検出して加速度信号を出力する加速度センサとを備え、前記電磁アクチュエータにより前記変位センサの位置信号に基づく補償回路の出力信号に基づいて位置決め制御を行うと共に、前記加速度センサの信号を積分した速度信号に基づいて除振制御を行い、前記空気ばねは前記テーブルの四隅を空気圧力で支持する圧力制御手段を備え、該それぞれの空気ばねの圧力を前記搭載物の除振テーブル上での移動に伴い生じる変動負荷に基づいて制御することを特徴とする除振装置。

IPC (5件)：

F16F 15/02 , F16F 15/04 , G05D 19/02 , H01L 21/02 , H01L 21/027

FI (5件)：

F16F 15/02 A , F16F 15/04 A , G05D 19/02 D , H01L 21/02 Z , H01L 21/30 503 F

引用特許：

審査官引用 (10件)

防振装置及びその制御方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-147467 出願人：住友電気工業株式会社
除振装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-250596 出願人：鹿島建設株式会社, 株式会社荏原製作所
特開平3-213745

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