特許
J-GLOBAL ID：200903062967268144
幾何学的エアリアルイメージシミュレーション
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 陽一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-554268
公開番号（公開出願番号）：特表2003-520999
出願日： 2000年01月20日
公開日（公表日）： 2003年07月08日
要約：
【要約】本発明では、透過部を有するエアリアルイメージをシミュレートするために、マスクの透過部を基本要素に分割し(94)、各基本要素に対する光学系応答を得て(94)、次に全ての基本要素に対する応答を結合する(98)ことによってエアリアルイメージをシミュレートする。
請求項（抜粋）：
透過部を有するマスクが光源に露光される際に前記マスクにより生成されるエアリアルイメージをシミュレートする方法であって、 (a)前記マスクの透過部を基本要素に分割する過程と、 (b)前記各基本要素に対する応答関数を得る過程と、 (c)全ての前記基本要素に対する前記応答関数を合計してマスク応答関数を得る過程と、 (d)前記光源の全ての点に対して前記マスク応答関数を求めることにより前記エアリアルイメージをシミュレートする過程とを含むことを特徴とする方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 1/08 A
, H01L 21/30 502 P
2H095BA01
, 2H095BB02
, 2H095BB36
