特許
J-GLOBAL ID：200903062983049770
容量型物理量検出センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-224085
公開番号（公開出願番号）：特開2002-040047
出願日： 2000年07月25日
公開日（公表日）： 2002年02月06日
要約：
【要約】【課題】 自己診断時にも、SCF回路のカットオフ周波数がずれないようにする。【解決手段】 制御信号発生回路24が発生させるサンプルホールド回路23aの駆動クロック(信号S2)と、SCF回路23bの駆動クロック(信号F1)とが異なる信号となるようにし、SCF回路23bの駆動クロックが自己診断でない通常動作時と自己診断時において同じ周期となるようにする。
請求項（抜粋）：
物理量の変化に応じて変位する可動電極(1a、1b)と、前記可動電極に対向して配置された固定電極(2a、2b)と、自己診断でない通常動作時には容量変化を検出するための信号を前記可動電極と前記固定電極との間に周期的に印加し、自己診断時には前記容量変化を検出するための信号に加えて、自己診断を行うために前記可動電極を変位させるための信号を前記可動電極と前記固定電極との間に周期的に印加する信号印加手段(22、24)と、前記容量変化を検出するための信号が前記可動電極と前記固定電極との間に印加されているときに、前記可動電極と前記固定電極からなる容量の変化に応じた電圧を出力するC-V変換回路(21)と、前記C-V変換回路の出力電圧を信号処理して前記物理量の変化に応じた信号を出力する信号処理回路(23)とを備え、前記信号処理回路は、前記C-V変換回路の出力電圧をフィルタリングするスイッチトキャパシタフィルタ回路(23b)を有し、該スイッチトキャパシタフィルタ回路の駆動クロックが前記自己診断でない通常動作時と前記自己診断時において同じ周期となっていることを特徴とする容量型物理量検出センサ。
IPC (4件)：
G01P 21/00
, G01L 1/14
, G01L 25/00
, G01P 15/125
G01P 21/00
, G01L 1/14 L
, G01L 25/00 A
, G01P 15/125
