特許
J-GLOBAL ID：200903063012253726
多層膜反射鏡、その再生方法および露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-291177
公開番号（公開出願番号）：特開2007-101349
出願日： 2005年10月04日
公開日（公表日）： 2007年04月19日
要約：
【課題】成膜した際の表面粗さが小さい材料からなる剥離層を基板との間に有し、剥離層がない場合と比較して反射率が低下しない多層膜反射鏡を提供する。【解決手段】本発明による多層膜反射鏡は、屈折率の異なる2層から成る層対(4)を基板(1)上に積み重ねた多層膜からなる。基板と層対との間に、モリブデンを含む材料からなる単層膜(3)を、単層膜の一部が層対で覆われないように成膜している。本発明の一実施形態によれば、単層膜と基板との間に、二酸化ケイ素からなる膜(2)を成膜している。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
屈折率の異なる2層から成る層対を基板上に積み重ねた多層膜からなる多層膜反射鏡であって、基板と層対との間に、モリブデンを含む材料からなる単層膜を、単層膜の一部が層対で覆われないように成膜した多層膜反射鏡。
IPC (3件)：
G21K 1/06
, G21K 5/02
, H01L 21/027
G21K1/06 B
, G21K1/06 C
, G21K1/06 D
, G21K5/02 X
, H01L21/30 531A
出願人引用 (1件)
審査官引用 (5件)
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