3次元形状測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：鈴江武彦 , 河野哲 , 村松貞男 , 風間鉄也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-021514
公開番号（公開出願番号）：特開2005-214787
出願日： 2004年01月29日
公開日（公表日）： 2005年08月11日
要約：

【課題】測定対象物の全ての領域でコントラストのよい変形パターン画像を取得できる3次元形状測定装置を提供する。【解決手段】光源3を有し、該光源3からの光が照射される格子パターン41の像を測定対象物1に対し所定角度傾けて投影するパターン投影手段2、測定対象物1からの反射光より取得されるパターン像を変形パターン像として撮像する撮像素子12を有する撮像光学手段8、パターン投影手段2の光路に配置され、光源3からの光のうち特定偏光成分の光を透過させる第1の偏光光学素子6および撮像光学手段8の光路に配置され、第1の偏光光学素子6を透過した特定偏光成分の光の透過を制限する第2の偏光光学素子10を具備する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光源を有し、該光源からの光が照射されるパターンの像を測定対象物に対し所定角度傾けて投影するパターン投影手段と、前記測定対象物に投影されるパターン像を変形パターン像として撮像素子に結像させる撮像光学手段と、前記パターン投影手段の光路に配置され、前記光源からの光のうち特定偏光成分の光を透過させる第1の偏光光学素子と、前記撮像光学手段の光路に配置され、前記第1の偏光光学素子を透過した特定偏光成分の光の透過を制限する第2の偏光光学素子とを具備したことを特徴とする3次元形状測定装置。

IPC (2件)：

G01B11/25 , G01B11/24

FI (2件)：

G01B11/24 E , G01B11/24 K

Fターム (14件)：

2F065AA53 , 2F065BB05 , 2F065DD09 , 2F065FF06 , 2F065FF49 , 2F065GG02 , 2F065GG03 , 2F065HH06 , 2F065HH12 , 2F065JJ03 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065LL33 , 2F065LL41

引用特許：

出願人引用 (1件)

表面形状3次元計測方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-148208 出願人：松下電工株式会社

審査官引用 (6件)

特開平4-278406
光学式位置検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-351702 出願人：株式会社ニコン
特開昭61-031909

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