特許
J-GLOBAL ID:200903063273000990

基板検査用接触子、これを用いた基板検査用治具及び基板検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 小谷 悦司 ,  伊藤 孝夫 ,  樋口 次郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-137197
公開番号(公開出願番号):特開2005-321211
出願日: 2004年05月06日
公開日(公表日): 2005年11月17日
要約:
【課題】微細な検査点に二つの端子を容易に当接させることを可能とする。【解決手段】接触子44は、弾性を有する棒状(ここでは、円柱状)の導電性材料(例えば、タングステン、ベリリウム銅等)からなるピン441と、ピン441の両端にピン441の外周部に同心配置され、ピン441の外周面に沿って軸方向に摺動可能に嵌合された導電性材料(例えば、ステンレス等)からなるプランジャ442と、ピン441の軸方向位置を変更可能に支持する導電性材料(例えば、ピアノ線SWP-A等)からなる螺旋状のスプリング443とを備えている。【選択図】図6
請求項(抜粋):
被検査基板の配線パターン上に設定された所定の検査点に圧接され、前記被検査基板と前記被検査基板の電気的特性を検査する基板検査装置との間で検査信号を伝送する基板検査用接触子であって、 弾性を有する棒状の導電性材料からなる第1部材と、 前記第1部材の外周部に同心配置された導電性材料からなる第2部材とを備え、 前記第2部材は、前記第1部材の軸方向に伸縮自在に構成され、軸方向の自然長が前記第1部材と略同一に設定され、 前記第1及び第2の部材の少なくとも一方の部材は、接点となる端面を除く表面に絶縁皮膜が形成されていることを特徴とする基板検査用接触子。
IPC (3件):
G01R1/067 ,  G01R31/02 ,  G01R31/28
FI (4件):
G01R1/067 C ,  G01R1/067 B ,  G01R31/02 ,  G01R31/28 K
Fターム (29件):
2G011AA09 ,  2G011AA22 ,  2G011AB01 ,  2G011AB03 ,  2G011AC02 ,  2G011AD01 ,  2G011AE01 ,  2G011AE03 ,  2G011AF06 ,  2G011AF07 ,  2G014AA02 ,  2G014AA03 ,  2G014AA08 ,  2G014AA13 ,  2G014AB59 ,  2G014AC06 ,  2G014AC10 ,  2G132AA20 ,  2G132AB01 ,  2G132AC14 ,  2G132AD01 ,  2G132AE01 ,  2G132AE04 ,  2G132AE11 ,  2G132AE16 ,  2G132AE18 ,  2G132AE23 ,  2G132AE30 ,  2G132AF06
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • プローブ及び検査装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-224282   出願人:株式会社日立製作所, 日立テクノエンジニアリング株式会社
審査官引用 (3件)

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