特許
J-GLOBAL ID：200903063420982426
メッキ装置、それに用いるカートリッジおよび銅溶解タンク、ならびにメッキ方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
川崎 実夫
, 稲岡 耕作
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-374790
公開番号（公開出願番号）：特開2004-100031
出願日： 2002年12月25日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：
【課題】銅供給源を容易に交換することができる銅メッキをするためのメッキ装置を提供する。【解決手段】このメッキ装置は、メッキ液の循環経路に接続されメッキ液中に銅イオンを供給するための3つの銅溶解タンク110a〜110c、これらのうち使用されていない銅溶解タンク110a〜110cに置換液を供給するためのバッファ槽111、およびバッファ槽111に置換液の元となる置換原液を供給する置換原液供給部112を含んでいる。銅溶解タンク110a〜110c内には、銅の線材を織って得られた銅メッシュ、直管状の銅管、銅板などが収容されている。銅溶解タンク110a〜110cは、着脱自在なカートリッジを備えており、銅メッシュ等はこのカートリッジ内に配置されている。【選択図】 図12
請求項（抜粋）：
不溶性アノードを有し、メッキ液を用いて基板に銅メッキを施すためのメッキ処理部と、
このメッキ処理部との間でメッキ液を通液可能に接続され、内部に銅の線材からなる銅供給源が収容された銅溶解タンクと、
上記メッキ処理部と上記銅溶解タンクとの間でメッキ液を循環させる第1循環手段とを備えたことを特徴とするメッキ装置。
IPC (3件)：
C25D21/14
, C25D7/12
, C25D17/00
C25D21/14 E
, C25D7/12
, C25D17/00 C
4K024AA09
, 4K024BB12
, 4K024CB07
, 4K024CB15
, 4K024CB26
