角速度センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志村浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-231243
公開番号（公開出願番号）：特開2003-130648
出願日： 1993年03月30日
公開日（公表日）： 2003年05月08日
要約：

【要約】【課題】単純な構造で三次元の各軸まわりの角速度を独立して検出する。【解決手段】 XY平面に沿って配置された板状の圧電素子520の上下両面に、X軸に沿って4組の電極L1〜L4およびM1〜M4を形成し、同様にY軸に沿っても4組の電極対を形成する。更に、XY平面上の任意のW軸に沿って4組の電極対を形成する。圧電素子520の下面に形成された電極は、可撓基板510の上面に接合され、可撓基板510の外周部は台座560によって固定される。可撓基板510の下面には、振動子550が接合される。所定軸に沿って配置された4組の電極対に所定位相の交流を加えることにより、振動子550を第1軸方向に振動させ、そのとき作用するコリオリ力に基づいて生じる振動子550の第2軸方向の変位を別な4組の電極間に生じる電圧により求め、第3軸まわりの角速度を決定する。

請求項（抜粋）：

XYZ三次元座標系におけるY軸まわりの角速度を検出する一次元角速度センサであって、主面がXY平面に対して平行になり中心部においてZ軸と交差するように配置され、可撓性をもった可撓基板と、前記可撓基板の下面に固着された振動子と、前記可撓基板を支持するとともに前記振動子を収容するセンサ筐体と、前記振動子を所定の座標軸方向に振動させる励振手段と、前記振動子の所定の座標軸方向への変位を検出する変位検出手段と、を備え、前記励振手段は、前記可撓基板の上面におけるX軸の正の領域上に配置され、当該配置箇所に対して、与えられた電気信号に応じた変位もしくは撓みを生じさせる第1の駆動手段と、前記可撓基板の上面におけるX軸の負の領域上に配置され、当該配置箇所に対して、与えられた電気信号に応じた変位もしくは撓みを生じさせる第2の駆動手段と、これら各駆動手段に交流信号を供給することにより前記振動子をX軸方向に振動させる振動発生回路と、を有し、前記変位検出手段は、前記可撓基板の上面の所定位置に配置され、当該配置箇所における前記振動子の変位に起因して生じる変位もしくは撓みに基づいて、前記振動子のZ軸方向への変位を検出する検出手段と、検出したZ軸方向への変位をY軸まわりの角速度を示す電気信号として出力する変位検出回路と、を有することを特徴とする角速度センサ。

IPC (4件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 29/84 , H01L 41/08

FI (6件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 29/84 A , H01L 29/84 B , H01L 29/84 Z , H01L 41/08 Z

Fターム (26件)：

2F105AA02 , 2F105BB01 , 2F105CC04 , 2F105CC08 , 2F105CD02 , 2F105CD03 , 2F105CD05 , 2F105CD07 , 2F105CD11 , 2F105CD13 , 4M112AA02 , 4M112BA01 , 4M112BA07 , 4M112BA10 , 4M112CA01 , 4M112CA12 , 4M112CA21 , 4M112CA24 , 4M112CA29 , 4M112CA32 , 4M112DA03 , 4M112DA10 , 4M112DA18 , 4M112EA13 , 4M112FA07 , 4M112FA20

引用特許：

審査官引用 (8件)

加速度検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-252974 出願人：岡田和廣
圧電素子を用いた力・加速度・磁気のセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-203876 出願人：岡田和廣
特開平4-084725

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