角速度センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志村浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-363391
公開番号（公開出願番号）：特開2003-177021
出願日： 1993年03月30日
公開日（公表日）： 2003年06月27日
要約：

【要約】【課題】単純な構造で三次元の所定軸まわりの角速度を検出する。【解決手段】 XY平面に対して平行な可撓基板110と固定基板120とをセンサ筐体140内に設ける。可撓基板110の下面には振動子130を接合する。可撓基板110の上面には電極F3,F4,F5を形成し、固定基板120の下面には電極E3,E4,E5を形成する。電極E5,F5間に交流信号を加えることによりクーロン力を作用させ、振動子130をZ軸方向に振動させる。この状態で、このセンサにX軸まわりの角速度ωxが作用すると、Y軸方向にコリオリ力Fyが発生する。電極E3,F3からなる容量素子C3の静電容量値と電極E4,F4からなる容量素子C4の静電容量値との差により、コリオリ力Fyを検出し、角速度ωxを求める。

請求項（抜粋）：

XYZ三次元座標系におけるX軸まわりの角速度を検出する角速度センサであって、センサ筐体に固定され、XY平面に平行な板状面を有する第1の要素と、前記第1の要素の板状面に対して所定の距離を保って平行に配置された板状面を有する中心部分と、この中心部分の周囲に位置する中間部分と、この中間部分の周囲に位置する周囲部分と、によって構成され、前記周囲部分を介して前記第1の要素に接続されている第2の要素と、を備え、前記中心部分に対して外力が作用した場合に、前記中心部分が前記第1の要素に対して変位を生じるように、前記第2の要素のうちの少なくとも前記中間部分は可撓性を有しており、前記第2の要素の前記中心部分には、第1の変位電極、第2の変位電極、第3の変位電極が形成されており、前記第1の要素における前記第1の変位電極、前記第2の変位電極、前記第3の変位電極に対向する位置には、それぞれ第1の固定電極、第2の固定電極、第3の固定電極が形成されており、前記第1の固定電極と前記第1の変位電極とにより第1の容量素子が形成され、前記第2の固定電極と前記第2の変位電極とにより第2の容量素子が形成され、前記第3の固定電極と前記第3の変位電極とにより第3の容量素子が形成されており、前記第1の容量素子と前記第2の容量素子は、前記中心部分がY軸方向に変位を生じた際に、一方の電極間隔が増加し、他方の電極間隔が減少するような位置に配置されており、前記第3の容量素子は、前記中心部分がZ軸方向に変位を生じた際に電極間隔が変化するような位置に配置されており、前記第3の容量素子を構成する一対の電極間に交流信号を供給することにより、前記中心部分をZ軸方向に振動させる手段と、前記第1の容量素子の静電容量値と前記第2の容量素子の静電容量値との差に基づいて、X軸まわりの角速度を示す値を出力する手段と、を更に備えることを特徴とする角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

Fターム (8件)：

2F105AA01 , 2F105AA06 , 2F105AA08 , 2F105BB11 , 2F105CC04 , 2F105CC11 , 2F105CD03 , 2F105CD07

引用特許：

審査官引用 (9件)

加速度検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-252974 出願人：岡田和廣
圧電素子を用いた力・加速度・磁気のセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-203876 出願人：岡田和廣
特開平4-084725

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