特許
J-GLOBAL ID：200903063789389095
超強酸オニウム塩化合物および感放射線性樹脂組成物
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-010910
公開番号（公開出願番号）：特開2003-215791
出願日： 2002年01月18日
公開日（公表日）： 2003年07月30日
要約：
【要約】【課題】 化学増幅型レジストとして使用される感放射線性樹脂組成物の感放射線性酸発生剤に好適な、高感度で効率良く酸を発生できる新規超強酸オニウム塩化合物の提供、および、当該超強酸オニウム塩化合物を用いた優れた化学増幅型のポジ型の感放射線性樹脂組成物の提供。【解決手段】下記一般式(1)、(2)または(3)で表される超強酸オニウム塩化合物、および、当該超強酸オニウム塩化合物を用いた優れた化学増幅型のポジ型の感放射線性樹脂組成物。【化1】
請求項（抜粋）：
下記一般式(1)、一般式(2)、または一般式(3)で表される超強酸オニウム塩化合物。【化1】〔一般式(1)、(2)または(3)において、Y1 、Y2 、Y3はそれぞれ独立で、SO2基またはCO基、R1、R2、R3はそれぞれ独立で、電子求引性の有機置換基(これらの構造中にさらに置換基、ヘテロ原子を持ってもよく、またR1、R2、R3はそれぞれが結合して環を形成してもよいし、隣の分子と結合してポリマー状になってもよい。)をそれぞれ表す。Z+ は硫黄またはヨウ素のオニウムカチオンを示す。〕
IPC (5件)：
G03F 7/004 503
, C07C 25/02
, C07C307/02
, C07C381/12
, H01L 21/027
G03F 7/004 503 A
, C07C 25/02
, C07C307/02
, C07C381/12
, H01L 21/30 502 R
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AB16
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BE07
, 2H025BE10
, 2H025BG00
, 2H025FA17
, 4H006AA01
, 4H006AA03
, 4H006AB80
