電子ビーム画像生成装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田守弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-281685
公開番号（公開出願番号）：特開2002-093359
出願日： 2000年09月18日
公開日（公表日）： 2002年03月29日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】電子ビームをサンプルに照射しつつCCDセンサの複数素子の方向と直角方向に直線状に走査すると共に、簡易な構造のステージなどを用いてジグザグ走査などのない極めて高精度で直線状に走査した画像を生成することを目的とする。【解決手段】レンズで結像された画像を、複数画素を直線状に並べて検出する検出器と、サンプルを、複数画素を直線状に並べた方向とほぼ直角方向になるように直線状に走査する走査手段と、走査手段によって直線状に走査されたときに、走査された方向と直角方向の移動変動量を検出する検出手段と、検出手段で検出された移動変動量を打ち消すように画像を偏向する偏向器に、あるいはサンプルの移動機構に制御信号を出力する補正手段とを備えるように構成する。

請求項（抜粋）：

サンプルの画像を高速に生成する電子ビーム画像生成装置において、電子ビームを発生する電子ビーム発生手段と、上記発生された電子ビームをサンプルに照射するレンズと、上記電子ビームの照射されたサンプルを透過した電子ビーム、あるいは負電圧の印加されたサンプル面の近傍で反転した電子ビームを結像するレンズと、上記レンズで結像された画像を、複数画素を直線状に並べて検出する検出器と、上記サンプルを、上記複数画素を直線状に並べた方向とほぼ直角方向になるように直線状に走査する走査手段と、上記走査手段によって直線状に走査されたときに、当該走査された方向と直角方向の移動変動量を検出する検出手段と、上記検出手段で検出された移動変動量を打ち消すように画像を偏向する偏向器に、あるいはサンプルの移動機構に制御信号を出力する補正手段とを備えたことを特徴とする画像生成装置。

IPC (6件)：

H01J 37/28 , H01J 37/147 , H01J 37/20 , H01J 37/22 502 , H01J 37/244 , H01L 21/66

FI (6件)：

H01J 37/28 C , H01J 37/147 A , H01J 37/20 D , H01J 37/22 502 B , H01J 37/244 , H01L 21/66 J

Fターム (28件)：

4M106AA01 , 4M106BA02 , 4M106CA39 , 4M106DB04 , 4M106DB05 , 4M106DB12 , 4M106DB18 , 4M106DB30 , 4M106DJ02 , 4M106DJ04 , 4M106DJ17 , 5C001AA03 , 5C001AA06 , 5C001CC01 , 5C001CC04 , 5C033EE03 , 5C033EE06 , 5C033FF05 , 5C033FF06 , 5C033NN02 , 5C033NN03 , 5C033NP06 , 5C033SS01 , 5C033SS03 , 5C033SS04 , 5C033UU01 , 5C033UU03 , 5C033UU04

引用特許：

審査官引用 (7件)

画像検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-001356 出願人：株式会社ニコン
パターン転写用マスク、マスク検査方法、及びマスク検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-235127 出願人：株式会社東芝
パターン欠陥検査方法および検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-269500 出願人：株式会社日立製作所

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