特許

J-GLOBAL ID：200903064136945452

空間光変調ユニット、照明光学装置、露光装置、およびデバイス製造方法

発明者： 村松 浩二
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-290234
公開番号（公開出願番号）：特開2009-117671
出願日： 2007年11月08日
公開日（公表日）： 2009年05月28日
要約：

【課題】 所望の形状および所望の照度の瞳強度分布を形成することができ、ひいては多様性に富んだ照明条件を実現することのできる照明光学装置。【解決手段】 照明光学装置は、光の入射順に第1空間光変調器(2)と第2空間光変調器(3)とからなる空間光変調ユニットと、第1空間光変調器および第2空間光変調器を介した光束に基づいて照明瞳に所定の光強度分布を形成する分布形成光学系(5,7)とを備えている。第1空間光変調器は、二次元的に配列されて個別に制御される複数の第1光学要素(2a)を有する。第2空間光変調器は、複数の第1光学要素と対応付けられて配列されて個別に制御される複数の第2光学要素(3a)を有する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

照明光学装置の光路中に配置されて、光の入射順に第1空間光変調器と第2空間光変調器とを備える空間光変調ユニットであって、 前記第1空間光変調器は、二次元的に配列されて個別に制御される複数の第1光学要素を有し、 前記第2空間光変調器は、前記複数の第1光学要素のそれぞれと対応付けられて配列されて個別に制御される複数の第2光学要素を有することを特徴とする空間光変調ユニット。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  G02B 19/00

FI (3件)：

H01L21/30 515D ,  G03F7/20 521 ,  G02B19/00

Fターム (8件)：

2H052BA02 ,  2H052BA03 ,  2H052BA06 ,  2H052BA12 ,  5F046BA03 ,  5F046CB13 ,  5F046CB23 ,  5F046CB27

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 照明光学装置,該照明光学装置を備えた露光装置,およびマイクロデバイスの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-155095   出願人：株式会社ニコン

審査官引用 (4件)

• リトグラフ装置、デバイス製造方法、その方法により製造されたデバイス、制御システム、コンピュータ・プログラムおよびコンピュータ・プログラム製品
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-157048   出願人：エイエスエムエルネザランドズベスローテンフエンノートシャップ
• 照明光学装置、露光装置、およびデバイスの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-355355   出願人：株式会社ニコン
• ラスタ要素を有する光学装置、及びこの光学装置を有する照射システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-304598   出願人：カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー
• 露光装置及び方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-036218   出願人：富士写真フイルム株式会社