光学装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤元亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-328660
公開番号（公開出願番号）：特開2003-133212
出願日： 2001年10月26日
公開日（公表日）： 2003年05月09日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】小型で安価な非直線偏光の光源を用いて高偏光度且つ容易に偏光面の切り替えを可能とし、容易に高精度な測定をすることができる光学装置を提供する。【解決手段】被測定体の偏光に依存した特性を測定する光学装置であって、極端紫外線領域又はX線領域の非直線偏光の光束を射出する光源と、前記光源から射出された前記光束を順次反射するとともに入射光束の光軸と出射光束の光軸とが同一直線上にあるように配置された3回以上反射するミラー群で構成され回転可能な偏光子とを有する光学装置を提供する。

請求項（抜粋）：

被測定体の偏光に依存した特性を測定する光学装置であって、極端紫外線領域又はX線領域の非直線偏光の光束を射出する光源と、前記光源から射出された前記光束を順次反射するとともに入射光束の光軸と出射光束の光軸とが同一直線上にあるように配置された3回以上反射するミラー群で構成され回転可能な偏光子とを有する光学装置。

IPC (11件)：

H01L 21/027 , G01N 21/01 , G01N 21/21 , G01N 21/33 , G01N 21/47 , G01N 23/227 , G02B 5/18 , G02B 5/30 , G02B 27/28 , G03F 7/20 503 , G03F 7/20 521

FI (12件)：

G01N 21/01 D , G01N 21/21 Z , G01N 21/33 , G01N 21/47 Z , G01N 23/227 , G02B 5/18 , G02B 5/30 , G02B 27/28 Z , G03F 7/20 503 , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 531 A , H01L 21/30 517

Fターム (55件)：

2G001AA01 , 2G001AA07 , 2G001AA09 , 2G001BA07 , 2G001BA08 , 2G001BA18 , 2G001CA03 , 2G001EA01 , 2G001EA04 , 2G001EA08 , 2G001EA09 , 2G001GA01 , 2G001GA03 , 2G001GA05 , 2G001JA03 , 2G001KA12 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G059AA02 , 2G059BB08 , 2G059BB16 , 2G059EE02 , 2G059EE05 , 2G059EE11 , 2G059GG01 , 2G059GG04 , 2G059GG10 , 2G059HH03 , 2G059HH04 , 2G059HH05 , 2G059HH06 , 2G059JJ05 , 2G059JJ13 , 2G059JJ19 , 2G059KK01 , 2H049AA03 , 2H049AA50 , 2H049AA64 , 2H049BA02 , 2H049BA43 , 2H049BB03 , 2H049BB05 , 2H049BC23 , 2H097BB03 , 2H097CA13 , 2H097LA10 , 2H099AA00 , 2H099BA09 , 2H099BA17 , 2H099CA02 , 2H099DA00 , 2H099DA07 , 5F046AA08 , 5F046GB01 , 5F046GD12

引用特許：

審査官引用 (6件)

照明光学系及びそれを備えた露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-074558 出願人：キヤノン株式会社
X線投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-237591 出願人：株式会社ニコン
特開昭60-135835

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