特許
J-GLOBAL ID：200903064243134343

ガスセンサ素子及びその製造方法

発明者：
内藤 将

内藤 将 について


出願人/特許権者：
株式会社デンソー

株式会社デンソー について


代理人 (2件)： 高橋 祥泰 ,  岩倉 民芳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-078767
公開番号（公開出願番号）：特開2005-265614
出願日： 2004年03月18日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：
【課題】リッチシフトの発生し難いガスセンサ素子及びその製造方法を提供すること。【解決手段】固体電解質体11と該固体電解質体11の表面に設けた基準電極112と被測定ガス側電極111とを有し、上記被測定ガス側電極111の被測定ガスと接する側の表面は多孔質層22で覆われてなるガスセンサ素子1において、上記多孔質層22は窒化物を含有する。上記多孔質層22に窒素原子を含むプラズマジェットを吹き付けることで、上記多孔質層22に窒化物を含有させる。上記多孔質層22における被測定ガスと接する表面を中心に窒化物を含有してなることが好ましい。また、上記多孔質層が含有する酸素原子数に対して、窒素原子数の比率は0.2〜100%であることが好ましい。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
固体電解質体と該固体電解質体の表面に設けた基準電極と被測定ガス側電極とを有し、上記被測定ガス側電極の被測定ガスと接する側の表面は多孔質層で覆われてなるガスセンサ素子において、 上記多孔質層は窒化物を含有することを特徴とするガスセンサ素子。
IPC (3件)：
G01N27/41 ,  F01N3/00 ,  G01N27/409
FI (5件)：
G01N27/46 325L ,  F01N3/00 F ,  G01N27/46 325D ,  G01N27/46 325G ,  G01N27/58 B
Fターム (17件)：
2G004BB01 ,  2G004BB04 ,  2G004BD05 ,  2G004BE04 ,  2G004BE24 ,  2G004BE26 ,  2G004BE28 ,  2G004BF03 ,  2G004BF05 ,  2G004BF06 ,  2G004BF08 ,  2G004BJ02 ,  2G004BJ03 ,  2G004BL19 ,  2G004BM04 ,  2G004BM07 ,  3G091BA26
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (12件)
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引用文献：
審査官引用 (2件)
  • 化学大辞典, 20010920, 縮刷版第37刷, 第878頁
  • 理化学辞典, 19811020, 第3版増補版第2刷, 第832頁

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