特許
J-GLOBAL ID：200903064452515125

FPDの保護膜用蒸着材およびその製造方法ならびにこれを用いたFPD

発明者：
桜井 英章

桜井 英章 について

, 
豊口 銀二郎

豊口 銀二郎 について

, 
黒光 祥郎

黒光 祥郎 について


出願人/特許権者：
三菱マテリアル株式会社

三菱マテリアル株式会社 について


代理人 (7件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  江口 昭彦 ,  杉浦 秀幸 ,  村山 靖彦 ,  柳井 則子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-072387
公開番号（公開出願番号）：特開2004-281276
出願日： 2003年03月17日
公開日（公表日）： 2004年10月07日
要約：
【課題】真空成膜用容器の内部に設置した直後の脱ガス排気処理時間を短縮し、広いエリアで膜厚分布が小さく安定した均一な成膜が可能な蒸着材を得る。【解決手段】FPDの保護膜用蒸着材は、表面が硫酸化物層および/または硫化物層12で覆われた多結晶体11,焼結体または単結晶体により形成される。多結晶体11,焼結体または単結晶体が、MgO,CaO,SrO,BaO,アルカリ土類複合酸化物もしくは希土類酸化物,またはアルカリ土類酸化物および希土類酸化物の複合酸化物のいずれかにより形成され、硫酸化物層および/または硫化物層12がガス状硫酸化剤および/または硫化剤とMgO,CaO,SrO,BaO,アルカリ土類複合酸化物もしくは希土類酸化物,またはアルカリ土類酸化物および希土類酸化物の複合酸化物のいずれかとの反応によって得られる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
表面が硫酸化物層および/または硫化物層で覆われた多結晶体,焼結体または単結晶体により形成されたことを特徴とするFPDの保護膜用蒸着材。
IPC (5件)：
H01J9/02 ,  C23C14/06 ,  C23C14/08 ,  C23C14/24 ,  H01J11/02
FI (8件)：
H01J9/02 F ,  C23C14/06 D ,  C23C14/06 K ,  C23C14/06 P ,  C23C14/08 J ,  C23C14/08 K ,  C23C14/24 E ,  H01J11/02 B
Fターム (15件)：
4K029BA41 ,  4K029BA43 ,  4K029BA50 ,  4K029BA51 ,  4K029BB00 ,  4K029BB02 ,  4K029BB08 ,  4K029BB09 ,  4K029BC00 ,  4K029BD00 ,  5C027AA07 ,  5C040GE07 ,  5C040GE08 ,  5C040GE09 ,  5C040JA07
引用特許：
審査官引用 (5件)
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