特許
J-GLOBAL ID：200903066553520270

MgO蒸着材およびその製造方法

発明者：
桜井 英章

桜井 英章 について

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豊口 銀二郎

豊口 銀二郎 について

, 
黒光 祥郎

黒光 祥郎 について


出願人/特許権者：
三菱マテリアル株式会社

三菱マテリアル株式会社 について


代理人 (1件)： 志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-335649
公開番号（公開出願番号）：特開2003-226956
出願日： 2002年11月19日
公開日（公表日）： 2003年08月15日
要約：
【要約】【課題】 電子ビーム蒸着法にて蒸着しても、スプラッシュが殆ど発生せずかつ成膜されるMgO膜の膜特性の向上を図る。【解決手段】 MgO純度が99.0%以上かつ相対密度が90.0%以上で、硫黄S含有量が0.01〜50ppmの多結晶とした。
請求項（抜粋）：
MgO純度が99.0%以上かつ相対密度が90.0%以上で、硫黄S含有量平均値が0.01〜50ppmの多結晶ペレットとされることを特徴とするMgO蒸着材。
IPC (3件)：
C23C 14/24 ,  H01J 9/02 ,  H01J 11/02
FI (3件)：
C23C 14/24 E ,  H01J 9/02 F ,  H01J 11/02 B
Fターム (13件)：
4K029AA09 ,  4K029BA43 ,  4K029BC05 ,  4K029BC08 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029CA03 ,  4K029DB05 ,  4K029DB08 ,  4K029DB21 ,  4K029DD03 ,  5C027AA07 ,  5C040GE09
引用特許：
出願人引用 (12件)
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