ブロック弁

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉本丈夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-134414
公開番号（公開出願番号）：特開平8-005000
出願日： 1994年06月16日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：

【要約】【目的】半導体製造装置等で使用するブロック弁の一層の小型化及びガス置換特性の向上を図る。【構成】ブロック弁本体に3通路型メタルダイヤフラム弁と2通路型メタルダイヤフラム弁を組付け、パージ用ガスを、閉鎖した3通路型メタルダイヤフラム弁の弁室から開放した2通路型メタルダイヤフラム弁の開閉通路及び弁室を通して外部へ排出すると共に、前記3通路型メタルダイヤフラム弁の開閉通路をプロセス側へ連通させる。

請求項（抜粋）：

ブロック弁本体(9)の上方部に2通路型メタルダイヤフラム弁(Va)と3通路型メタルダイヤフラム弁(Vb)を一体的に組付けして成るブロック弁に於いて、前記両メタルダイヤフラム弁(Va),(Vb)をブロック弁本体(9)の上面に間隔を置いて穿孔した2個の弁孔(7)と,各弁孔(7)の上方開口部に溶接したボンネット(12)と,各弁孔(7)の底面に形成した弁座(2)及び開閉通路(8)と,一方の弁孔(7)の底面に連通する二本の流体通路(6b),(6b)と、他方の弁孔(7)の底面に連通する一本の流体通路(6a)と,前記弁座(2)と対向状に配設した金属ダイヤフラム(1)と、金属ダイヤフラム(1)の上方に配設したダイヤフラム押さえ(3)と,ボンネット(12)及び弁孔(7)内へ挿入され、その先端部でダイヤフラム(1)の外周縁を本体(9)側へ押圧すると共に基端部にアクチエータ(10)を支持固定したガイド体(5)と,ボンネット(12)に取付されてガイド体(5)をブロック弁本体(9)側へ押圧固定するガイド体固着材(13)とから形成すると共に、前記ブロック弁本体(9)の外側面に第1継手(14a)、第2継手(14b)及び第3継手(14c)を設け、前記3通路型メタルダイヤフラム弁(Vb)の一方の流体通路(6b)と第1継手(14a)間、流体開閉通路(8b)と第3継手(14c)間、他方の流体通路(6b)と2通路型メタルダイヤフラム弁(Va)の流体開閉通路(8a)間及びダイヤフラム弁(Va)の流体通路(6a)と第2継手(14b)間を夫々通路(15)により連通する構成としたブロック弁。

IPC (3件)：

F17D 1/08 , F16K 7/16 , H01L 21/02

引用特許：

出願人引用 (6件)

弁装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-335798 出願人：日本テキサス・インスツルメンツ株式会社
バルブ構造
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-270116 出願人：株式会社日立製作所
ブロック弁
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-060812 出願人：株式会社フジキン

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審査官引用 (6件)

弁装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-335798 出願人：日本テキサス・インスツルメンツ株式会社
バルブ構造
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-270116 出願人：株式会社日立製作所
ブロック弁
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-060812 出願人：株式会社フジキン

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