走査型プローブ顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-157601
公開番号（公開出願番号）：特開2002-350320
出願日： 2001年05月25日
公開日（公表日）： 2002年12月04日
要約：

【要約】【課題】SPM像とこれに比べて低分解能の光学顕微鏡像とを互いに関連づけて評価し得る走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】走査型プローブ顕微鏡100は、試料108が載置されるXYステージ110と、SPM像を得るためのSPMユニット120と、光学顕微鏡像を得るための光学顕微鏡ユニット130とを有している。さらに、走査型プローブ顕微鏡100は、装置全体を制御するためのCPU164と、SPM測定領域を指定するための指示入力部166と、試料の画像や種々の情報を表示するための表示部168と、得られる情報を記憶するための記憶部170とを有している。CPU164は、画像情報メモリー172に保存されたSPM像のXY位置情報と、高さ情報メモリー174に保存されたSPM像のZ位置情報とに基づいてSPM像を作成し、光学顕微鏡像のSPM測定領域と関連づける。

請求項（抜粋）：

試料の表面情報を測定する走査型プローブ顕微鏡であって、試料の光学顕微鏡像を取得するための光学顕微鏡ユニットと、試料のSPM像を取得するためのSPMユニットと、光学顕微鏡像の情報とSPM像の情報を記憶するための記憶手段と、光学顕微鏡像の情報とSPM像の情報を表示するための表示手段と、表示手段に表示された光学顕微鏡像の情報上でSPM測定領域を指示する指示手段と、光学顕微鏡像の情報上で指示するSPM測定領域とそのSPM像の情報とを互いに関連づける手段とを備えている、走査型プローブ顕微鏡。

IPC (4件)：

G01N 13/10 , G02B 21/00 , G02B 21/36 , G01B 21/30 101

FI (5件)：

G01N 13/10 E , G01N 13/10 F , G02B 21/00 , G02B 21/36 , G01B 21/30 101 Z

Fターム (16件)：

2F069AA57 , 2F069HH30 , 2F069MM24 , 2H052AA08 , 2H052AB04 , 2H052AC04 , 2H052AC15 , 2H052AC27 , 2H052AC34 , 2H052AD06 , 2H052AD19 , 2H052AF03 , 2H052AF11 , 2H052AF13 , 2H052AF22 , 2H052AF25

引用特許：

審査官引用 (9件)

走査型プローブ顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-078781 出願人：株式会社ニコン
走査型プローブ顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-078780 出願人：株式会社ニコン
特開平4-013902

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