流量センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：曾我道照 , 曾我道治 , 池谷豊 , 古川秀利 , 鈴木憲七 , 梶並順 , 白石泰三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-181651
公開番号（公開出願番号）：特開2004-028631
出願日： 2002年06月21日
公開日（公表日）： 2004年01月29日
要約：

【課題】この発明は、振動やヒートショックに起因して電気的接続部に発生する応力を低減して、電気的接続部の断線を回避させ、出力異常の発生を抑えた耐久性に優れた流量センサを得る。【解決手段】ホルダ50の厚肉部50bから延出するターミナル導体49の延出端49aと流量検出素子52の電極端子とがボンディングワイヤ22により電気的に接続されている。周壁部材56が延出端49aおよび電極端子とボンディングワイヤ22との電気的接続部57を取り囲むようにホルダ50の薄肉部50aおよび流量検出素子52に接着固定されている。そして、ゲル58が電気的接続部57を封止するように形成され、ゴム59がゲル58を封止するように周壁部材56内に充填・硬化されている。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

ターミナル導体が埋設された支柱部と、この支柱部の一端側に配設され、被計測流体の流量を検出するための流量検出素子と、上記流量検出素子の電極端子と上記支持部から露出する上記ターミナル導体の端部とを電気的に接続する接続導体と、上記ターミナル導体および上記接続導体を介して上記流量検出素子に電気的に接続され、該流量検出素子への通電電流を制御する電子回路部とを備え、上記支柱部の一端側を上記被計測流体が流通する主通路内に延在するように該主通路に開口された穴に挿入されて、該被計測流体の流量を検出するプラグイン構造の流量センサにおいて、上記流量検出素子の電極端子および上記ターミナル導体の端部と上記接続導体との電気的接続部が第1封止材で封止され、上記第1封止材が第2封止材で封止され、上記第2封止材は上記第1封止材に対して硬度の高い物性を有していることを特徴とする流量センサ。

IPC (1件)：

G01F1/684

FI (1件)：

G01F1/68 101A

Fターム (4件)：

2F035AA02 , 2F035EA03 , 2F035EA04 , 2F035EA08

引用特許：

審査官引用 (5件)

熱式流量センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-172140 出願人：三菱電機株式会社
半導体装置および半導体装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-041857 出願人：富士電機株式会社
半導体装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-145996 出願人：新光電気工業株式会社

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