特許
J-GLOBAL ID:200903064784129385

センサ、センシング装置、及びセンシング方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 柳田 征史 ,  佐久間 剛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-149713
公開番号(公開出願番号):特開2007-024870
出願日: 2006年05月30日
公開日(公表日): 2007年02月01日
要約:
【課題】構成が簡易で検出感度が良好な新規のセンサを提供する。【解決手段】センサS1は、測定光L1の入射側から、半透過半反射性を有する第1の反射体10と、透光体20と、完全反射性又は半透過半反射性を有する第2の反射体30とを順次備えてなり、第1の反射体10及び/又は第2の反射体30が、試料に接触させられると共に試料によって平均複素屈折率が変化するものであり、第1の反射体10の平均複素屈折率と、第2の反射体30の平均複素屈折率と、透光体20の平均複素屈折率及び厚みとに応じて、特定波長の光を吸収する吸収特性を示し、該吸収特性を含む光学特性により測定光L1の特性が変化されて、第1の反射体10及び/又は第2の反射体30から出射光L2が出射されるものであり、上記光学特性に応じて変化する出射光L2の物理特性が検出されるものである。【選択図】図1
請求項(抜粋):
測定光が入射されると共に、該測定光が試料によって物理特性の異なる出射光となって出射され検出されるセンサにおいて、 前記測定光の入射側から、半透過半反射性を有する第1の反射体と、透光体と、完全反射性又は半透過半反射性を有する第2の反射体とを順次備えてなり、 前記第1の反射体及び/又は前記第2の反射体が、前記試料に接触させられると共に該試料によって平均複素屈折率が変化するものであり、 前記第1の反射体の平均複素屈折率と、前記第2の反射体の平均複素屈折率と、前記透光体の平均複素屈折率及び厚みとに応じて、特定波長の光を吸収する吸収特性を示し、該吸収特性を含む光学特性により前記測定光の特性が変化されて、前記第1の反射体及び/又は前記第2の反射体から前記出射光が出射されるものであり、 前記光学特性に応じて変化する前記出射光の物理特性が検出されるものであることを特徴とするセンサ。
IPC (2件):
G01N 21/27 ,  G01N 21/41
FI (3件):
G01N21/27 B ,  G01N21/41 Z ,  G01N21/27 C
Fターム (15件):
2G059AA01 ,  2G059AA02 ,  2G059BB04 ,  2G059CC17 ,  2G059DD13 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059FF04 ,  2G059GG01 ,  2G059GG02 ,  2G059GG10 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ11 ,  2G059KK01 ,  2G059LL03
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (8件)
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