特許
J-GLOBAL ID:200903064826871176
電界効果トランジスタ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
山崎 宏
, 田中 光雄
, 仲倉 幸典
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-294494
公開番号(公開出願番号):特開2007-150282
出願日: 2006年10月30日
公開日(公表日): 2007年06月14日
要約:
【課題】ゲートの遷移電流や漏れ電流が小さく、ピンチオフ電圧が安定な電界効果トランジスタを提供すること。【解決手段】半導体層3上でこの半導体層3の表面に沿って互いに離間した位置に、それぞれ金属電極を有するソース5、第1ゲート6、第2ゲート7、ドレイン8をこの順に備える。第1ゲート6はノーマリオフ、第2ゲート7はノーマリオンになっている。第1ゲート6はショットキ型であり、第2ゲート7はMIS型である。【選択図】図1
請求項(抜粋):
半導体層上でこの半導体層の表面に沿って互いに離間した位置に、それぞれ金属電極を有するソース、第1ゲート、第2ゲート、ドレインをこの順に備え、
上記第1ゲートはノーマリオフ、上記第2ゲートはノーマリオンになっており、
上記第1ゲートはショットキ型であり、上記第2ゲートはMIS型であることを特徴とする電界効果トランジスタ。
IPC (10件):
H01L 29/80
, H01L 27/095
, H01L 21/823
, H01L 27/088
, H01L 29/812
, H01L 29/778
, H01L 21/338
, H01L 27/06
, H01L 29/423
, H01L 29/41
FI (8件):
H01L29/80 W
, H01L29/80 E
, H01L27/08 102C
, H01L29/80 H
, H01L29/80 F
, H01L27/06 F
, H01L29/58 Z
, H01L29/44 L
Fターム (40件):
4M104AA04
, 4M104BB14
, 4M104BB15
, 4M104BB33
, 4M104CC03
, 4M104CC05
, 4M104EE01
, 4M104EE03
, 4M104EE16
, 4M104FF06
, 4M104FF13
, 4M104GG12
, 5F048AC09
, 5F048BA02
, 5F048BA15
, 5F048BA16
, 5F048BB01
, 5F048BB02
, 5F048BB11
, 5F048BD09
, 5F102FA00
, 5F102FA01
, 5F102GA05
, 5F102GB01
, 5F102GC01
, 5F102GC05
, 5F102GD01
, 5F102GD10
, 5F102GJ10
, 5F102GK04
, 5F102GL04
, 5F102GM04
, 5F102GR04
, 5F102GS01
, 5F102GT01
, 5F102GT03
, 5F102GT05
, 5F102GV01
, 5F102GV05
, 5F102HC15
引用特許:
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