特許
J-GLOBAL ID：200903064923180960

走査型プローブ顕微鏡

発明者：
岩槻正志

岩槻正志 について


出願人/特許権者：
日本電子株式会社

日本電子株式会社 について


代理人 (1件)： 蛭川 昌信 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-356799
公開番号（公開出願番号）：特開2000-180457
出願日： 1998年12月15日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：
【要約】【課題】 走査速度を落とさず、安定した凹凸像とリフト像が得られるようにする。【解決手段】 カンチレバーを試料に接近させて走査し試料表面の凹凸像を観察する凹凸像観察モードと、カンチレバーをリフトアップして走査し試料表面の磁気モーメントを測定するリフト像観察モードの走査方式を有する走査型プロープ顕微鏡において、像観察後の帰りの走査を利用してヒステリシスを最小化するようにしたものである。
請求項（抜粋）：
カンチレバーを試料に接近させて走査し試料表面の凹凸像を観察する凹凸像観察モードと、カンチレバーをリフトアップして走査し試料表面の磁気モーメントを測定するリフト像観察モードの走査方式を有する走査型プロープ顕微鏡において、像観察後の帰りの走査方式を変更し、該変更した走査方式により次の観察を行うことを特徴とする走査型プロープ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 37/00 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30
FI (5件)：
G01N 37/00 U ,  G01N 37/00 F ,  G01N 37/00 M ,  G01B 7/34 Z ,  G01B 21/30 Z
Fターム (23件)：
2F063AA43 ,  2F063CA11 ,  2F063DA01 ,  2F063DA04 ,  2F063DB02 ,  2F063DB05 ,  2F063DD02 ,  2F063EA16 ,  2F063EB01 ,  2F063EB23 ,  2F063GA57 ,  2F069AA60 ,  2F069AA99 ,  2F069DD15 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG62 ,  2F069HH04 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ06 ,  2F069JJ26 ,  2F069LL03 ,  2F069MM04
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (7件)
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