低誘電率絶縁膜形成用水性分散液、低誘電率絶縁膜および電子部品

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小島清路
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-112668
公開番号（公開出願番号）：特開2001-294815
出願日： 2000年04月13日
公開日（公表日）： 2001年10月23日
要約：

【要約】【課題】電着により有機系の絶縁膜を形成する低誘電率絶縁膜形成用水性分散液、この水性分散液から得られた低誘電率絶縁膜、およびこの低誘電率絶縁膜を有する電子部品を提供する。【解決手段】本発明の低誘電率絶縁膜形成用水性分散液は、水性媒体中に、平均粒子径1μm以下かつ誘電率3以下の非成膜性微粒子と、重合性化合物および重合体の少なくとも一方からなる有機粒子とが分散しており、電着により絶縁膜を形成することを特徴とする。非成膜性微粒子としてはフッ素含有微粒子および架橋有機微粒子から選択された少なくとも一種が好ましい。有機粒子は、粒子表面に電荷を有し、ポリイミド系樹脂からなることが好ましい。この分散液から電着により形成される本発明の低誘電率絶縁膜は、誘電率が3以下であることを特徴とする。本発明の電子部品はこの低誘電率絶縁膜を備えることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

水性媒体中に、平均粒子径1μm以下かつ比誘電率3以下の非成膜性微粒子と、重合性化合物および重合体の少なくとも一方からなる有機粒子とが分散しており、電着により絶縁膜を形成可能であることを特徴とする低誘電率絶縁膜形成用水性分散液。

IPC (7件)：

C09D201/00 , C08J 3/07 CER , C08J 3/07 CEZ , C09D 5/25 , C09D 5/44 , H01L 21/312 , H01L 21/768

FI (9件)：

C09D201/00 , C08J 3/07 CER , C08J 3/07 CEZ , C09D 5/25 , C09D 5/44 A , H01L 21/312 B , H01L 21/312 A , H01L 21/90 P , H01L 21/90 S

Fターム (54件)：

4F070AA55 , 4F070AB01 , 4F070AC79 , 4F070AD03 , 4F070AE30 , 4F070CA01 , 4F070CB03 , 4F070CB12 , 4J038CC012 , 4J038CC022 , 4J038CC082 , 4J038CD091 , 4J038CD122 , 4J038CG141 , 4J038CG142 , 4J038CH032 , 4J038CH122 , 4J038CH201 , 4J038CH261 , 4J038CJ052 , 4J038DB001 , 4J038DJ021 , 4J038DJ031 , 4J038DL031 , 4J038DL032 , 4J038KA03 , 4J038KA21 , 4J038MA08 , 4J038MA10 , 4J038NA17 , 4J038NA21 , 4J038PA19 , 4J038PB09 , 4J038PB11 , 4J038PC02 , 4J038PC03 , 4J038PC08 , 5F033RR21 , 5F033RR22 , 5F033RR23 , 5F033RR24 , 5F033SS30 , 5F033WW01 , 5F033WW09 , 5F033XX24 , 5F058AA10 , 5F058AC01 , 5F058AC02 , 5F058AC03 , 5F058AC04 , 5F058AC05 , 5F058AC10 , 5F058AF10 , 5F058AG01

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平4-033394
低誘電体形成材料および低誘電体
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-187704 出願人：ジェイエスアール株式会社
特開昭63-110795

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