特許
J-GLOBAL ID：200903065208791052

セラミックヒータ

発明者：
横山 裕

横山 裕 について

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関口 豊

関口 豊 について

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猪飼 良仁

猪飼 良仁 について

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光岡 健

光岡 健 について


出願人/特許権者：
日本特殊陶業株式会社

日本特殊陶業株式会社 について


代理人 (1件)： 福村 直樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-133445
公開番号（公開出願番号）：特開2008-288110
出願日： 2007年05月18日
公開日（公表日）： 2008年11月27日
要約：
【課題】亀裂、折損、腐食、強度低下の抑制されたセラミックヒータの提供。【解決手段】Moの珪化物、窒化物及び炭化物、並びに、Wの珪化物、窒化物及び炭化物のうち、少なくとも1種を主成分とする発熱体を窒化珪素を主成分とする基体に埋設し、前記基体は、前記基体は、気孔率が5%以下であり、希土類元素を酸化物換算で4〜25質量%含有し、以下の条件下に、珪化物及び/又は炭化珪素を含有し、かつ前記基体の表層部に炭化珪素が存在せずに珪化物が存在する場合、前記基体の表層部に珪化物が存在せずに炭化珪素が存在する場合及び前記基体の表層部に珪化物と炭化珪素とが存在する場合のいずれにおいても珪化物及び炭化珪素の最大粒径が15μm以下であることを特徴とするセラミックヒータ。条件:珪化物含有量をA体積%、炭化珪素含有量をB体積%のとき、(1)0.6≦A≦10、かつ0≦B≦10、又は(2)2≦B≦10、かつ0≦A≦10【選択図】図1
請求項（抜粋）：
モリブデンの珪化物、窒化物及び炭化物、並びに、タングステンの珪化物、窒化物及び炭化物のうち、少なくとも1種を主成分とする発熱体と、前記発熱体を埋設するとともに窒化珪素を主成分とする基体とを備え、 前記基体は、 気孔率が5%以下であり、 希土類元素を酸化物換算で4〜25質量%含有し、 以下の条件を満たすように、珪化物及び/又は炭化珪素を含有し、かつ 前記基体の表層部に炭化珪素が存在せずに珪化物が存在する場合、前記基体の表層部に珪化物が存在せずに炭化珪素が存在する場合及び前記基体の表層部に珪化物と炭化珪素とが存在する場合のいずれにおいても珪化物及び炭化珪素の最大粒径が15μm以下であることを特徴とするセラミックヒータ。 <条件> 珪化物の含有量をA体積%とし、炭化珪素の含有量をB体積%とする場合に、 (1)0.6≦A≦10、かつ、 0≦B≦10、又は、 (2)2≦B≦10、かつ 0≦A≦10
IPC (5件)：
H05B 3/48 ,  H05B 3/14 ,  H05B 3/10 ,  F23Q 7/00 ,  H05B 3/18
FI (5件)：
H05B3/48 ,  H05B3/14 D ,  H05B3/10 C ,  F23Q7/00 X ,  H05B3/18
Fターム (11件)：
3K092PP16 ,  3K092QA01 ,  3K092QB08 ,  3K092QB11 ,  3K092QB12 ,  3K092RA05 ,  3K092RB02 ,  3K092RD09 ,  3K092VV09 ,  3K092VV31 ,  3K092VV35
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • セラミック焼結体
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-177829   出願人：京セラ株式会社
  • セラミックヒータ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-089087   出願人：日本特殊陶業株式会社
審査官引用 (5件)
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