特許
J-GLOBAL ID：200903006648874654

セラミックヒータ

発明者：
内村 英樹

内村 英樹 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-018838
公開番号（公開出願番号）：特開平11-214124
出願日： 1998年01月30日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：
【要約】【課題】酸化性雰囲気中での高温加熱においても発熱体の抵抗変化のない耐久性に優れた窒化ケイ素質のセラミックヒータを提供する。【解決手段】窒化ケイ素結晶相を主相とする絶縁性基板1と、絶縁性基板1中に埋設された発熱体2と、発熱体2と接続され絶縁性基板2表面に形成された電極部3を有するセラミックスヒータにおいて、発熱体2を、W、Mo、Taもしくはその炭化物の群から選ばれる少なくとも1種からなる主相5と、窒化ケイ素相6と、ダイシリケートなどの希土類元素酸化物-酸化ケイ素結晶相7を含み、且つ気孔率が10体積%以下に緻密化した焼結体によって形成する。
請求項（抜粋）：
窒化ケイ素結晶相を主相とする絶縁性基板と、該絶縁性基板中に埋設された発熱体と、該発熱体と接続され前記絶縁性基板表面に形成された電極部を有するセラミックスヒータにおいて、前記発熱体が、W、Mo、Taもしくはその炭化物の群から選ばれる少なくとも1種からなる主相と、窒化ケイ素相と、希土類元素酸化物-酸化ケイ素結晶相を含み、且つ気孔率が10体積%以下であることを特徴とするセラミックヒータ。
引用特許：
審査官引用 (6件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM