ガスセンサ及びガスセンサの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：上柳雅誉 , 藤綱英吉 , 須澤修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-253125
公開番号（公開出願番号）：特開2007-064865
出願日： 2005年09月01日
公開日（公表日）： 2007年03月15日
要約：

【課題】高感度のガスセンサと、このガスセンサを効率的に製造する製造方法を提供する。【解決手段】水素センサ10は、水素ガスと触媒材との触媒反応による発熱を、ブリッジ回路50により電気信号に変換し、検出信号として検出する水素センサ10であって、絶縁性を有し水素に対して不活性な基板20と、基板20の主面に形成される触媒材としての白金膜30、を備える。この白金膜30はジグザグ形状に形成されており、この白金膜の接合部31,32を除いて除去し、架橋部を設けることにより、白金膜30の表裏両面に水素ガスが流動する空間が形成され、水素ガスとの接触面積を増加するとともに熱容量を低減し高感度化を実現している。また、白金膜30は、電流を供給することにより再結晶化処理が施され、温度係数を高めている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ガスと触媒材との触媒反応による発熱を、熱電変換回路により電気信号に変換し、検出信号として検出するガスセンサであって、絶縁性を有し、検出対象となるガスに対して不活性な基板と、前記基板の主面に形成される前記触媒材と、を備え、前記基板が、前記触媒材との接合面を除いて前記触媒材の下部が除去され、前記触媒材の裏面にガスが流動する空間が形成されていることを特徴とするガスセンサ。

IPC (1件)：

G01N 27/16

FI (2件)：

G01N27/16 A , G01N27/16 Z

Fターム (14件)：

2G060AA02 , 2G060AB03 , 2G060AE19 , 2G060AF09 , 2G060AG03 , 2G060AG10 , 2G060BA03 , 2G060BB03 , 2G060BB09 , 2G060BB16 , 2G060BD02 , 2G060BD08 , 2G060HC02 , 2G060JA01

引用特許：

出願人引用 (1件)

可燃性ガスセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-198038 出願人：独立行政法人産業技術総合研究所

審査官引用 (6件)

接触ガスセンサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-198242 出願人：フォードモーターカンパニー
可燃性ガス検出素子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-310177 出願人：日本特殊陶業株式会社
ガスセンサの制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-328924 出願人：本田技研工業株式会社

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