特許
J-GLOBAL ID：200903065634966315
被検査体の検査装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森下 賢樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-013146
公開番号（公開出願番号）：特開2009-156872
出願日： 2009年01月23日
公開日（公表日）： 2009年07月16日
要約：
【課題】被検査体のコーティングを精度よく検査する。【解決手段】コーティング検査装置10は、紫外光を受けた基板1のコーティングを受けた被検査体からの蛍光を受光して、各々が異なる色成分に分解された複数の画像を生成する。コーティング検査装置10は、生成した画像のうち少なくとも1つに基づいて基板1のコーティングを検査する。コーティング検査装置10は、検査区域ごとに、色分解された複数の画像のいずれかを選択して検査してもよい。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
紫外光を受けて蛍光を発するコーティングで表面の少なくとも一部が被覆された被検査体の検査装置であって、
紫外光源と、
紫外光を受けた被検査体からの蛍光を受光して、各々が異なる色成分に分解された複数の画像を生成する撮像部と、
前記撮像部が生成した画像のうち少なくとも1つに基づいて被検査体のコーティングを検査する検査部と、を備えることを特徴とする検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N21/88 K
, G01B11/30 Z
2F065AA30
, 2F065AA49
, 2F065BB01
, 2F065BB27
, 2F065CC01
, 2F065DD04
, 2F065EE03
, 2F065EE09
, 2F065FF01
, 2F065FF04
, 2F065FF61
, 2F065GG07
, 2F065GG09
, 2F065GG14
, 2F065GG21
, 2F065GG23
, 2F065GG24
, 2F065JJ02
, 2F065JJ05
, 2F065JJ25
, 2F065LL12
, 2F065LL22
, 2F065MM07
, 2F065NN02
, 2F065PP02
, 2F065PP15
, 2F065QQ08
, 2F065QQ24
, 2F065QQ25
, 2F065QQ32
, 2G051AA90
, 2G051AB01
, 2G051AB07
, 2G051AB12
, 2G051AC21
, 2G051BA02
, 2G051BA05
, 2G051BA08
, 2G051BB02
, 2G051CA03
, 2G051CB01
, 2G051CB05
, 2G051CB10
, 2G051DA06
, 2G051EA11
, 2G051EA16
, 2G051EA17
, 2G051EA25
, 2G051EC01
, 2G051EC03
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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