特許
J-GLOBAL ID:200903065698621427

水晶振動子とその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-051024
公開番号(公開出願番号):特開2004-260695
出願日: 2003年02月27日
公開日(公表日): 2004年09月16日
要約:
【課題】圧電体を高精度に薄板化し水晶振動子の高周波化を容易にする圧電デバイスの製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】課題を解決するために本発明は、所望の周波数を厚みすべり振動モード励振し、表裏両主面上に励振用電極を有する振動領域と、該振動領域の周囲に該振動領域の厚さよりも厚い補強部を一体で形成した矩形状の水晶振動板を用いた水晶振動子において、該補強部の少なくとも一箇所に該水晶振動板の表裏両主面に貫通する孔を有し、該孔に引き出し電極を配置したことにより課題を解決する。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
所望の周波数を厚みすべり振動モード励振し、表裏両主面上に励振用電極を有する振動領域と、該振動領域の周囲に該振動領域の厚さよりも厚い補強部を一体で形成した矩形状の水晶振動板を用いた水晶振動子において、 該補強部の少なくとも一箇所に該水晶振動板の表裏両主面に貫通する孔を有し、該孔に引き出し電極を配置したことを特徴とする水晶振動子。
IPC (2件):
H03H9/19 ,  H03H3/02
FI (2件):
H03H9/19 D ,  H03H3/02 B
Fターム (10件):
5J108BB02 ,  5J108CC04 ,  5J108CC09 ,  5J108CC11 ,  5J108DD02 ,  5J108FF07 ,  5J108KK01 ,  5J108KK02 ,  5J108MM08 ,  5J108MM14
引用特許:
審査官引用 (4件)
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