特許
J-GLOBAL ID：200903065850021643
研磨方法および研磨装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
筒井 大和
, 小塚 善高
, 筒井 章子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-312335
公開番号（公開出願番号）：特開2007-118120
出願日： 2005年10月27日
公開日（公表日）： 2007年05月17日
要約：
【課題】被加工物に対して砥石から大きな押し付け力を加えることなく、短時間で効率的に被加工面の研磨加工を行うことができるようにする。【解決手段】被加工物Wの被加工面Sにはブラスト加工機14により粉粒体が吹き付けられ、被加工面Sは砥石25の表面よりも粗い凹凸面となった粗面にブラスト加工される。ブラスト加工により粗面に加工された後の被加工面Sは砥石25により研磨加工される。予めブラスト加工機14により被加工面を粗面に加工した後に砥石25により研磨加工することにより、砥石25から被加工物Wに大きな押し付け力を加えることなく、短時間で所定の研磨量で研磨加工することができる。研磨量が大きい場合にはブラスト加工と研磨加工とを複数回繰り返す。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
被加工物の被加工面に粉粒体を吹き付けて前記被加工面を凹凸を有する粗面にブラスト加工するブラスト工程と、
前記ブラスト工程により粗面に加工された後の被加工面を砥石により研磨加工する研磨工程とを有することを特徴とする研磨方法。
IPC (5件)：
B24B 7/20
, B24B 7/00
, B24C 1/10
, B24C 3/20
, H01L 21/304
B24B7/20
, B24B7/00 A
, B24C1/10 F
, B24C3/20
, H01L21/304 621C
3C043BA03
, 3C043BA04
, 3C043BA09
, 3C043BB00
, 3C043CC01
, 3C043CC04
, 3C043DD06
, 3C043DD14
