力学量センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤強
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-358195
公開番号（公開出願番号）：特開平11-183517
出願日： 1997年12月25日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：

【要約】【課題】支持基板の表面に平行な面内において可動部が回転することによるセンサ感度への影響を抑止すること。【解決手段】支持基板上のアンカー部13に対し、平面形状が互いにオーバーラップする部分を有したスパイラル形状の梁部14及び15を介して支持されたおもり可動電極16は、支持基板の表面とほぼ平行する方向へ変位可能な状態となっており、その外周面が検出面16aとなっている。固定電極は、おもり可動電極16を包囲した形態の被検出面17aを有する。外部から所定レベルを越える加速度が印加された状態では、おもり可動電極16の変位に応じて、検出面16a及び被検出面が接触し、その接触を検出回路が検出する。おもり可動電極16には透孔19が形成され、支持基板には透孔19内に入り込むストッパ軸20が設けられており、これら透孔19及びストッパ軸20によっておもり可動電極16の回転が制限される。

請求項（抜粋）：

支持基板上に固定されたアンカー部から延設する梁部によって支えられた可動部を有し、この可動部の前記支持基板表面にほぼ平行な任意の軸方向への変位に基づき前記可動部に作用する力学量を検出するようにした力学量センサにおいて、前記可動部の前記支持基板表面に平行な面内における回転運動を制限する回転制限手段を前記支持基板に設けることを特徴とする力学量センサ。

IPC (5件)：

G01P 15/125 , G01H 1/00 , G01H 11/06 , G01P 15/00 , H01L 29/84

FI (5件)：

G01P 15/125 , G01H 1/00 B , G01H 11/06 , G01P 15/00 F , H01L 29/84 Z

引用特許：

審査官引用 (10件)

加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-230769 出願人：株式会社デンソー
特開平3-230779
特開平4-302175

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