感放射線性樹脂組成物

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小島清路 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-401936
公開番号（公開出願番号）：特開2003-202673
出願日： 2001年12月28日
公開日（公表日）： 2003年07月18日
要約：

【要約】【課題】放射線に対する透明性、感度、解像度、ドライエッチング耐性等のレジストとしての基本物性に優れる感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】本発明の感放射線性樹脂組成物は、繰り返し単位として下記一般式(1-1)で表される繰り返し単位を含む酸解離性基含有樹脂(A)と、下記一般式(2)で表される感放射線性酸発生剤(B)と、を含有する。【化1】【化2】[上記一般式(1-1)〜(1-5)中、R1は相互に独立に水素原子又はメチル基を示し、R2は相互に独立に炭素数2〜6のアルキル基を示す。また、上記一般式(2)中、R3は1価の有機基を示し、R4は2価の有機基を示す。]

請求項（抜粋）：

繰り返し単位として下記一般式(1-1)〜(1-5)で表される繰り返し単位のうちの少なくとも1種を含む酸解離性基含有樹脂(A)と、下記一般式(2)で表される感放射線性酸発生剤(B)と、を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】【化2】[上記一般式(1-1)〜(1-5)中、R1は相互に独立に水素原子又はメチル基を示し、R2は相互に独立に炭素数2〜6のアルキル基を示す。また、上記一般式(2)中、R3は1価の有機基を示し、R4は2価の有機基を示す。]

IPC (4件)：

G03F 7/039 601 , C08F220/18 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/039 601 , C08F220/18 , G03F 7/004 503 A , H01L 21/30 502 R

Fターム (28件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AA09 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AL08R , 4J100AL08S , 4J100BC03P , 4J100BC03S , 4J100BC04P , 4J100BC04S , 4J100BC08P , 4J100BC08S , 4J100BC09P , 4J100BC09R , 4J100BC09S , 4J100BC12P , 4J100BC12S , 4J100BC53Q , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100CA06 , 4J100JA37

引用特許：

審査官引用 (6件)

新規なエステル化合物、高分子化合物、レジスト材料、及びパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-307148 出願人：信越化学工業株式会社
新規オニウム塩及びレジスト材料用光酸発生剤並びにレジスト材料及びパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-245564 出願人：信越化学工業株式会社
感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-328091 出願人：ジェイエスアール株式会社

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