圧力センサ

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：奥田弘之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-038451
公開番号（公開出願番号）：特開2000-241270
出願日： 1999年02月17日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：

【要約】【課題】発火性のあるガスや液体等の流体の圧力を安全に測定することのできる圧力センサを実現する。【解決手段】センサ部12と、光源14と、光源14の光Aをセンサ部12に伝送すると共に、センサ部12からの干渉反射光B12を伝送する光ファイバ16と、干渉反射光B12を受光し、その強度に比例した電気信号を出力する受光部20と、該受光部20の出力する電気信号を増幅する増幅部22と、増幅電気信号を圧力値に変換する処理部24とを備えて成る。センサ部12は、圧力に比例して弾性変形するダイアフラム32及びダイアフラム32裏面に形成された鏡面34を有するシリコン基板26と、シリコン基板26裏面に陽極接合され、その表面が上記鏡面34と間隙dを隔てて平行配置されるガラスより成る台座28とを有し、光ファイバ16は、その一端面16aが、台座28を間に介して、鏡面34と対向配置されている。

請求項（抜粋）：

センサ部と、光源と、光源からの光を上記センサ部に伝送すると共に、センサ部からの反射光を伝送する光ファイバと、センサ部からの反射光を受光し、反射光の強度に比例した電気信号を出力する受光部と、該受光部で出力された電気信号を圧力値に変換する処理部とを備えた圧力センサであって、上記センサ部は、圧力に比例して弾性変形するダイアフラム及び該ダイアフラム裏面に形成された反射面とを有するセンサ基板と、該センサ基板の裏面に接合され、その表面が上記センサ基板の反射面と所定の間隙を隔てて平行配置される透光性材料より成る台座とを有しており、また、上記光ファイバは、その一端面が、上記台座を間に介して、上記反射面と対向配置されていることを特徴とする圧力センサ。

IPC (3件)：

G01L 9/00 , G02B 6/00 , H01L 29/84

FI (3件)：

G01L 9/00 B , H01L 29/84 Z , G02B 6/00 B

Fターム (18件)：

2F055AA39 , 2F055BB20 , 2F055CC02 , 2F055DD05 , 2F055EE31 , 2F055FF41 , 2F055GG12 , 2H038AA05 , 4M112AA01 , 4M112BA10 , 4M112CA15 , 4M112DA04 , 4M112DA11 , 4M112DA18 , 4M112EA02 , 4M112EA13 , 4M112GA01 , 4M112GA03

引用特許：

審査官引用 (7件)

圧力センサー及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-012350 出願人：三菱マテリアル株式会社, 三菱電線工業株式会社
半導体圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-062159 出願人：三菱電機株式会社
圧力・温度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-192058 出願人：三菱電線工業株式会社

全件表示

前のページに戻る