特許
J-GLOBAL ID：200903066238989686

環境制御装置、半導体製造装置および検査・測定装置

発明者：
中野 一志

中野 一志 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-085610
公開番号（公開出願番号）：特開2000-283500
出願日： 1999年03月29日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：
【要約】【課題】 空調空気の温度変動を減少させる。また、冷凍機等の振動によるチャンバ内の装置への悪影響を防止する。【解決手段】 内部の環境が制御されるチャンバ1およびチャンバ内を空調する空調手段2を有し、空調手段は空調空気を冷却する空気冷却手段および空調空気を加熱する空気加熱手段4、4’を有し、空気冷却手段は冷凍機6、およびそれにより冷却された冷媒によって空調空気を冷却する空気冷却用熱交換器3’を有する環境制御装置において、空気冷却手段は冷凍機の冷媒である1次冷媒により2次冷媒を冷却する2次冷媒冷却用熱交換器17、およびこの2次冷媒を空気冷却用熱交換器への冷媒として循環させる2次冷媒循環手段19を備える。
請求項（抜粋）：
内部の環境が制御されるチャンバおよび前記チャンバ内を空調する空調手段を有し、前記空調手段は空調空気を冷却する空気冷却手段および空調空気を加熱する空気加熱手段を有し、前記空気冷却手段は冷凍機、およびそれにより冷却された冷媒によって空調空気を冷却する空気冷却用熱交換器を有する環境制御装置において、前記空気冷却手段は前記冷凍機の冷媒である1次冷媒により2次冷媒を冷却する2次冷媒冷却用熱交換器、およびこの2次冷媒を前記空気冷却用熱交換器への冷媒として循環させる2次冷媒循環手段を具備することを特徴とする環境制御装置。
IPC (3件)：
F24F 5/00 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
F24F 5/00 L ,  H01L 21/02 D ,  H01L 21/30 502 H
Fターム (5件)：
5F046AA22 ,  5F046AA28 ,  5F046CC16 ,  5F046DA09 ,  5F046DA26
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM