静電チャックおよびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：萩原誠
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-509077
公開番号（公開出願番号）：特表2003-504871
出願日： 1999年07月08日
公開日（公表日）： 2003年02月04日
要約：

【要約】セラミック層の反りおよび冷却ガスの漏れを防止し、しかも静電吸着力を大きく、かつ離脱性能のよい静電チャックおよびその製造方法を提供するものであり、セラミック層の厚さ方向の中央に電極を埋設し、かつこの電極の外側端部より内側で、かつ電極の上部で前記セラミック層の表面に冷却ガス溝を形成し、この冷却ガス溝より外側に前記電極を延在させる。

請求項（抜粋）：

静電チャックであって、金属基板と、前記金属基板上に接着剤層を介して接着される所定の厚さを有する円板状のセラミック層と、前記セラミック層の厚さ方向の中央で前記セラミック層内に埋設された平面状の電極と、前記電極の上部で、かつ外側端部より内側で前記セラミック層の表面に形成された冷却ガス溝と、を具備することを特徴とする静電チャック。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , H01L 21/3065

FI (2件)：

H01L 21/68 R , H01L 21/302 C

Fターム (16件)：

5F004AA16 , 5F004BB22 , 5F004BB25 , 5F031CA02 , 5F031FA01 , 5F031FA07 , 5F031HA02 , 5F031HA16 , 5F031HA18 , 5F031HA33 , 5F031HA37 , 5F031HA40 , 5F031MA32 , 5F031NA04 , 5F031NA05 , 5F031PA30

引用特許：

審査官引用 (5件)

静電チャックとそれを用いた異物検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-231371 出願人：富士通株式会社
静電吸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-160882 出願人：株式会社日立製作所
特開平4-371579

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