特許

J-GLOBAL ID：200903066445494255

透明導電性酸化亜鉛皮膜及びその作製方法

発明者： 伊▲崎▼ 昌伸 ,  畑瀬 博 ,  西條 義司
出願人/特許権者： 大阪市 ,  松下電器産業株式会社 ,  上村工業株式会社
代理人 (1件)： 小島 隆司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-179823
公開番号（公開出願番号）：特開2001-011642
出願日： 1999年06月25日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
要約：

【要約】【解決手段】 湿式めっき法により作製され、膜厚が0.005μm以上で、可視光平均透過率が70%以上、比抵抗値が0.1Ω・cm以下であることを特徴とする透明導電性酸化亜鉛皮膜。【効果】 本発明によれば、電気伝導性と透明性の優れた酸化亜鉛皮膜を得ることができる。

請求項（抜粋）：

湿式めっき法により作製され、膜厚が0.005μm以上で、可視光平均透過率が70%以上、比抵抗値が0.1Ω・cm以下であることを特徴とする透明導電性酸化亜鉛皮膜。

IPC (4件)：

C23C 18/16 ,  C25D 9/04 ,  G02F 1/1343 ,  H01L 31/04

FI (4件)：

C23C 18/16 Z ,  C25D 9/04 ,  G02F 1/1343 ,  H01L 31/04 M

Fターム (23件)：

2H092HA04 ,  2H092MA05 ,  2H092MA07 ,  2H092MA11 ,  2H092MA29 ,  2H092NA25 ,  2H092NA28 ,  2H092PA01 ,  4K022AA02 ,  4K022AA03 ,  4K022AA04 ,  4K022AA13 ,  4K022AA43 ,  4K022BA15 ,  4K022BA25 ,  4K022BA33 ,  4K022DA01 ,  4K022EA01 ,  5F051AA20 ,  5F051BA05 ,  5F051CA20 ,  5F051FA02 ,  5F051GA01

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 酸化亜鉛薄膜の製造方法、それを用いた半導体素子基板の製造方法及び光電変換素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-008685   出願人：キヤノン株式会社
• 導電性金属酸化物皮膜の形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-145778   出願人：株式会社ジャパンエナジー
• 酸化亜鉛膜の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-067394   出願人：大阪市, 奥野製薬工業株式会社
• 酸化亜鉛膜作製用電解液
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-023775   出願人：大阪市, 奥野製薬工業株式会社
• 透明導電性薄膜積層体の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-089527   出願人：三井化学株式会社