特許
J-GLOBAL ID：200903066501173840

電子源基板の製造装置、電子源基板、該基板を用いた画像表示装置

発明者：
関谷 卓朗

関谷 卓朗 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


代理人 (1件)： 高野 明近 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-371904
公開番号（公開出願番号）：特開2001-185022
出願日： 1999年12月27日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：
【要約】【課題】 画像表示装置に適用可能な電子放出素子を、インクジェット法を用いて低コストかつ高精度に製造する。【解決手段】 電圧を印加することにより電子を放出し、その電子により蛍光体に可視光を発光させて表示する表示装置に適用される電子放出素子を、インクジェット法を用いて製造する。電子源基板14と吐出ヘッドユニット11は、所定の距離をおいて配され、その対向位置がXY方向走査機構37によって制御される。吐出ヘッドユニット11のインクジェットヘッド33からは、導電性薄膜の材料を含有する液的43が噴射され、電子源基板上14上の所定位置に塗布されて電子放出素子群が形成される。
請求項（抜粋）：
所定の電圧を印加することにより電子を放出する導電性薄膜を有する電子放出素子群が基板に形成されてなる電子源基板の製造装置において、前記基板の保持位置決め手段もしくは保持位置調整機構を有する基板保持手段と、前記基板に相対する位置に配され、該基板に対して前記導電性薄膜の材料を含有した溶液を噴射する噴射ヘッドと、該噴射ヘッドに液滴付与情報を入力する情報入力手段とを有し、前記基板における前記導電性薄膜の形成面と前記噴射ヘッドの溶液噴射口面とが一定の距離を保持し、前記基板と前記噴射ヘッドとが前記導電性薄膜の形成面に対して平行にかつ互いに直交する2方向に相対移動を行うように構成され、前記噴射ヘッドは、該情報入力手段により入力された前記液滴付与情報に基づいて前記基板に設けられた複数対の各素子電極間に前記溶液を噴射することにより前記導電性薄膜を形成することを特徴とする電子源基板の製造装置。
IPC (5件)：
H01J 9/02 ,  B41J 3/407 ,  H01J 1/316 ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12
FI (5件)：
H01J 9/02 E ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12 C ,  B41J 3/00 F ,  H01J 1/30 E
Fターム (7件)：
2C062RA01 ,  5C031DD17 ,  5C036EF01 ,  5C036EF06 ,  5C036EG02 ,  5C036EG12 ,  5C036EG50
引用特許：
審査官引用 (5件)
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