電子素子および電子素子の製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-265106
公開番号（公開出願番号）：特開2009-111377
出願日： 2008年10月14日
公開日（公表日）： 2009年05月21日
要約：

【課題】グラファイトやグラフェン等を用いた新規な電子素子を提供する。【解決手段】基板と、6員環からなる炭素同族体を主成分とする層と、一対の電極と、該一対の電極間に設けられた酸化アルミニウムを主成分とする層と、アルミニウムを主成分とする層とを有し、かつ、前記酸化アルミニウムを主成分とする層は、前記6員環からなる炭素同族体を主成分とする層とアルミニウムを主成分とする層の間に両層に隣接して設けられている、電子素子。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

基板と、6員環からなる炭素同族体を主成分とする層と、一対の電極と、該一対の電極間に設けられた酸化アルミニウムを主成分とする層と、アルミニウムを主成分とする層とを有し、かつ、前記酸化アルミニウムを主成分とする層は、前記6員環からなる炭素同族体を主成分とする層とアルミニウムを主成分とする層の間に両層に隣接して設けられている、電子素子。

IPC (5件)：

H01L 29/786 , H01L 29/06 , H01L 21/336 , H01L 51/05 , H01L 51/30

FI (7件)：

H01L29/78 618B , H01L29/06 601N , H01L29/78 617T , H01L29/78 617V , H01L29/28 100A , H01L29/28 250E , H01L29/28 280

Fターム (20件)：

5F110AA06 , 5F110AA16 , 5F110CC01 , 5F110DD01 , 5F110DD05 , 5F110DD13 , 5F110DD22 , 5F110EE03 , 5F110EE30 , 5F110EE43 , 5F110FF01 , 5F110FF22 , 5F110GG01 , 5F110GG22 , 5F110GG25 , 5F110GG42 , 5F110HK02 , 5F110HK04 , 5F110HK32 , 5F110QQ14

引用特許：

審査官引用 (8件)

カーボンナノチューブを利用した電子デバイス
公報種別：公表公報出願番号：特願2003-516113 出願人：テクニシェユニヴェルシテイトデルフト
炭素微粒子構造体とその製造方法、およびこれを製造するための炭素微粒子転写体と炭素微粒子構造体製造用溶液、並びに炭素微粒子構造体を用いた炭素微粒子構造体電子素子とその製造方法、そして集積回路
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-188823 出願人：富士ゼロックス株式会社
カーボンナノチューブの溶液処理ドーピング方法、半導体装置および半導体装置の形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-055790 出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション

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