特許

J-GLOBAL ID：200903066912302233

電界放出型電子源アレイ及びその製造方法

発明者： 丸尾 祐二 ,  瀧口 治久 ,  浦山 雅夫 ,  井出 哲也 ,  大木 博
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-128131
公開番号（公開出願番号）：特開2001-312953
出願日： 2000年04月27日
公開日（公表日）： 2001年11月09日
要約：

【要約】【課題】 製造が容易で特性に優れる電界放出型電子源アレイ及びその製造方法を提供する。【解決手段】 別途、製造されたカーボンナノチューブ等の微細繊維状物質13を、電気泳動法により、カソード電極10表面の陽極酸化膜11に形成された細孔12の軸方向に沿って配向するように挿入して形成し、基板面におおよそ垂直方向に方向の揃ったカーボンナノチューブ等の微細繊維状物質を電子放出部とする電界放出型電子源アレイを構成する。

請求項（抜粋）：

支持基板上に形成されたカソード電極と、前記カソード電極上に形成された陽極酸化膜と、前記陽極酸化膜に形成された細孔に、棒状電子放出物質が該棒状電子放出物質の端面を露出させた状態で埋め込まれて構成された電子源と、を有する電界放出型電子源アレイにおいて、前記棒状電子放出物質が、前記細孔の軸方向に沿って配向するように形成されていることを特徴とする電界放出型電子源アレイ。

IPC (4件)：

H01J 1/304 ,  H01J 9/02 ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12

FI (4件)：

H01J 9/02 B ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12 C ,  H01J 1/30 F

Fターム (7件)：

5C031DD17 ,  5C031DD19 ,  5C036EF01 ,  5C036EF06 ,  5C036EF08 ,  5C036EG02 ,  5C036EG12

引用特許：

審査官引用 (5件)

• カーボンナノチューブの製造方法、電界放出型冷陰極装置およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-255515   出願人：株式会社東芝
• カーボンナノチューブデバイス、その製造方法及び電子放出素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-276426   出願人：キヤノン株式会社
• 電界放出型電子源及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-204350   出願人：シヤープ株式会社
• 電子放出素子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-015628   出願人：株式会社リコー
• 電界放出型電子源
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-129122   出願人：日本放送協会, 日立電子株式会社