特許
J-GLOBAL ID：200903066971950656
閃光放射装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
五十畑 勉男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-335267
公開番号（公開出願番号）：特開2008-147533
出願日： 2006年12月13日
公開日（公表日）： 2008年06月26日
要約：
【課題】 閃光放電ランプのパルス電流の時間幅をより短くして、被処理物を熱処理できる閃光放射装置を提供することを目的とする。【解決手段】 複数の閃光放電ランプから放射される閃光を被処理物に照射する閃光放射装置において、前記閃光照射装置は、第1の閃光放電ランプと第2の閃光放電ランプとを有し、第2の閃光放電ランプの電流は、時間幅が第1の閃光放電ランプの電流の時間幅より小さく、第1の閃光放電ランプの電流入力後に入力されることを特徴とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
複数の閃光放電ランプから放射される閃光を被処理物に照射する閃光放射装置において、
前記閃光照射装置は、第1の閃光放電ランプと第2の閃光放電ランプとを有し、第2の閃光放電ランプの電流は、時間幅が第1の閃光放電ランプの電流の時間幅より小さく、第1の閃光放電ランプの電流入力後に入力されることを特徴とする閃光放電装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/26 T
, H05B7/144 Z
出願人引用 (6件)
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熱処理方法及びその装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-398434
出願人：ウシオ電機株式会社
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工作物の熱誘起運動を抑制する機器及び装置
公報種別：公表公報
出願番号：特願2006-544191
出願人：マトソンテクノロジーカナダインコーポレイテッド
-
熱処理装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2002-363417
出願人：大日本スクリーン製造株式会社
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審査官引用 (5件)
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